سلکان کاربائیڈ کوٹنگ، ویفر کیریئر کے ساتھ گریفائٹ سسپٹر

CVD-SiC کوٹنگ میں مستحکم جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کے ساتھ یکساں ساخت، کمپیکٹ مواد، اعلی درجہ حرارت مزاحمت، آکسیکرن مزاحمت، اعلی طہارت، تیزاب اور الکلی مزاحمت اور نامیاتی ری ایجنٹ کی خصوصیات ہیں۔
اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ مواد کے مقابلے میں، گریفائٹ 400C پر آکسائڈائز ہونا شروع کر دیتا ہے، جو آکسیڈیشن کی وجہ سے پاؤڈر کی کمی کا باعث بنتا ہے، جس کے نتیجے میں پردیی آلات اور ویکیوم چیمبرز میں ماحولیاتی آلودگی ہوتی ہے، اور اعلیٰ پاکیزگی والے ماحول کی نجاست میں اضافہ ہوتا ہے۔
تاہم، SiC کوٹنگ جسمانی اور کیمیائی استحکام کو 1600 ڈگری پر برقرار رکھ سکتی ہے، یہ جدید صنعت میں خاص طور پر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے۔