ایس او آئی ویفرز

آئٹم

دلیل

مجموعی طور پر

ویفر قطر
晶圆尺寸(mm)

50/75/100/125/150/200mm±25um

کمان/وارپ
翘曲度(

<10um

ذرات
颗粒度(

0.3um<30ea

فلیٹ/نشان
定位边/定位槽

فلیٹ یا نشان

کنارے کا اخراج
边缘去除(ملی میٹر)

/

ڈیوائس پرت
器件层

ڈیوائس لیئر کی قسم/ڈوپینٹ
器件层掺杂类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb/ As

ڈیوائس لیئر اورینٹیشن
器件层晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

ڈیوائس پرت کی موٹائی
器件层厚度(um)

0.1~300um

ڈیوائس لیئر ریسسٹیوٹی
器件层电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 اوہم-سینٹی میٹر

ڈیوائس پرت کے ذرات
器件层颗粒度(

<30ea@0.3

ڈیوائس لیئر ٹی ٹی وی
器件层TTV(

<10um

ڈیوائس لیئر ختم
器件层表面处理

پالش

ڈبہ

دفن شدہ تھرمل آکسائیڈ موٹائی
埋氧层厚度(um)

50nm(500Å)~15um

ہینڈل لیئر
衬底

ویفر کی قسم/ڈوپینٹ کو ہینڈل کریں۔
衬底层类型

N-Type/P-Type
B/ P/ Sb/ As

ویفر اورینٹیشن کو ہینڈل کریں۔
衬底晶向

<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>

Wafer Resistivity کو ہینڈل کریں۔
衬底电阻率(ohm•cm)

0.001~100,000 اوہم-سینٹی میٹر

ویفر کی موٹائی کو ہینڈل کریں۔
衬底厚度(um)

>100um

ویفر ختم کو ہینڈل کریں۔
衬底表面处理

پالش

ہدف کی وضاحتوں کے SOI ویفرز کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔