سلکان کاربائیڈ کوٹنگ 8 انچ ویفر کیریئر کے ساتھ گریفائٹ سسپٹر

CVD-SiC کوٹنگمستحکم جسمانی اور کیمیائی خصوصیات کے ساتھ یکساں ساخت، کمپیکٹ مواد، اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحمت، آکسیکرن مزاحمت، اعلی طہارت، تیزاب اور الکلی مزاحمت اور نامیاتی ری ایجنٹ کی خصوصیات ہیں۔
 
اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ مواد کے مقابلے میں، گریفائٹ 400C پر آکسائڈائز ہونا شروع کر دیتا ہے، جو آکسیڈیشن کی وجہ سے پاؤڈر کی کمی کا باعث بنتا ہے، جس کے نتیجے میں پردیی آلات اور ویکیوم چیمبرز میں ماحولیاتی آلودگی ہوتی ہے، اور اعلیٰ پاکیزگی والے ماحول کی نجاست میں اضافہ ہوتا ہے۔
تاہم،سی سی کوٹنگ1600 ڈگری پر جسمانی اور کیمیائی استحکام کو برقرار رکھ سکتا ہے، یہ وسیع پیمانے پر جدید صنعت میں استعمال کیا جاتا ہے، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر صنعت میں.