سی سی کی ترقی کے لیے کلیدی بنیادی مواد: ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ

اس وقت سیمی کنڈکٹرز کی تیسری نسل کا غلبہ ہے۔سلکان کاربائیڈ. اس کے آلات کی لاگت کے ڈھانچے میں، سبسٹریٹ کا حصہ 47٪ ہے، اور epitaxy کا حصہ 23٪ ہے۔ دونوں مل کر تقریباً 70 فیصد بنتے ہیں، جو کہ کا سب سے اہم حصہ ہے۔سلکان کاربائیڈڈیوائس مینوفیکچرنگ انڈسٹری چین۔

تیاری کے لیے عام طور پر استعمال ہونے والا طریقہسلکان کاربائیڈسنگل کرسٹل PVT (جسمانی بخارات کی نقل و حمل) کا طریقہ ہے۔ اصول یہ ہے کہ خام مال کو اعلی درجہ حرارت والے علاقے میں اور بیج کرسٹل کو نسبتاً کم درجہ حرارت والے علاقے میں بنایا جائے۔ اعلی درجہ حرارت پر خام مال گل جاتا ہے اور مائع مرحلے کے بغیر براہ راست گیس فیز مادہ پیدا کرتا ہے۔ یہ گیس فیز مادوں کو محوری درجہ حرارت کے میلان کی ڈرائیو کے تحت سیڈ کرسٹل میں منتقل کیا جاتا ہے، اور سیڈ کرسٹل پر نیوکلیٹ اور بڑھ کر ایک سلکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل بنتا ہے۔ اس وقت، غیر ملکی کمپنیاں جیسے کری، II-VI، SiCrystal، Dow اور ملکی کمپنیاں جیسے Tianyue Advanced، Tianke Heda، اور Century Golden Core سبھی یہ طریقہ استعمال کرتے ہیں۔

سلکان کاربائیڈ کی 200 سے زیادہ کرسٹل شکلیں ہیں، اور مطلوبہ سنگل کرسٹل فارم (مرکزی دھارے میں 4H کرسٹل شکل ہے) پیدا کرنے کے لیے انتہائی درست کنٹرول کی ضرورت ہے۔ Tianyue Advanced کے پراسپیکٹس کے مطابق، 2018-2020 اور H1 2021 میں کمپنی کی کرسٹل راڈ کی پیداوار بالترتیب 41%، 38.57%، 50.73% اور 49.90% تھی، اور سبسٹریٹ کی پیداوار %47.570%، %47.570% تھی۔ ively جامع پیداوار فی الحال صرف 37.7% ہے۔ مرکزی دھارے کے PVT طریقہ کو بطور مثال لیتے ہوئے، کم پیداوار بنیادی طور پر SiC سبسٹریٹ کی تیاری میں درج ذیل مشکلات کی وجہ سے ہے:

1. درجہ حرارت کے فیلڈ کنٹرول میں دشواری: SiC کرسٹل کی سلاخوں کو 2500℃ کے اعلی درجہ حرارت پر تیار کرنے کی ضرورت ہے، جب کہ سلیکون کرسٹل کو صرف 1500℃ کی ضرورت ہوتی ہے، اس لیے خصوصی سنگل کرسٹل فرنسز کی ضرورت ہوتی ہے، اور پیداوار کے دوران نمو کے درجہ حرارت کو درست طریقے سے کنٹرول کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ جس پر قابو پانا انتہائی مشکل ہے۔

2. پیداوار کی سست رفتار: روایتی سلکان مواد کی ترقی کی شرح 300 ملی میٹر فی گھنٹہ ہے، لیکن سلکان کاربائیڈ سنگل کرسٹل صرف 400 مائیکرون فی گھنٹہ بڑھ سکتے ہیں، جو کہ فرق سے تقریباً 800 گنا زیادہ ہے۔

3. اچھے پروڈکٹ کے پیرامیٹرز کے لیے اعلی تقاضے، اور بلیک باکس کی پیداوار کو وقت پر کنٹرول کرنا مشکل ہے: SiC wafers کے بنیادی پیرامیٹرز میں microtube density، dislocation density، resistivity، warpage، سطح کی کھردری وغیرہ شامل ہیں۔ کرسٹل کی نمو کے عمل کے دوران، یہ پیرامیٹرز کو درست طریقے سے کنٹرول کرنے کے لیے ضروری ہے جیسے کہ سلکان-کاربن کا تناسب، ترقی کے درجہ حرارت کا میلان، کرسٹل کی ترقی کی شرح، اور ہوا کے بہاؤ کا دباؤ۔ بصورت دیگر، پولیمورفک شمولیتوں کا امکان ہے، جس کے نتیجے میں نا اہل کرسٹل ہوتے ہیں۔ گریفائٹ کروسیبل کے بلیک باکس میں، حقیقی وقت میں کرسٹل کی نمو کی کیفیت کا مشاہدہ کرنا ناممکن ہے، اور بہت ہی درست تھرمل فیلڈ کنٹرول، مواد کی مماثلت، اور تجربہ جمع کرنا ضروری ہے۔

4. کرسٹل کی توسیع میں دشواری: گیس فیز ٹرانسپورٹ کے طریقہ کار کے تحت، SiC کرسٹل کی ترقی کی توسیع ٹیکنالوجی انتہائی مشکل ہے۔ جیسے جیسے کرسٹل کا سائز بڑھتا ہے، اس کی نشوونما کی دشواری تیزی سے بڑھ جاتی ہے۔

5. عام طور پر کم پیداوار: کم پیداوار بنیادی طور پر دو لنکس پر مشتمل ہوتی ہے: (1) کرسٹل راڈ کی پیداوار = سیمی کنڈکٹر گریڈ کرسٹل راڈ آؤٹ پٹ/(سیمی کنڈکٹر گریڈ کرسٹل راڈ آؤٹ پٹ + نان سیمی کنڈکٹر گریڈ کرسٹل راڈ آؤٹ پٹ) × 100٪؛ (2) سبسٹریٹ کی پیداوار = کوالیفائیڈ سبسٹریٹ آؤٹ پٹ/(کوالیفائیڈ سبسٹریٹ آؤٹ پٹ + نا اہل سبسٹریٹ آؤٹ پٹ) × 100%۔

اعلیٰ معیار اور اعلیٰ پیداوار کی تیاری میںسلکان کاربائیڈ سبسٹریٹس، کور کو پیداوار کے درجہ حرارت کو درست طریقے سے کنٹرول کرنے کے لئے بہتر تھرمل فیلڈ مواد کی ضرورت ہے۔ فی الحال استعمال ہونے والی تھرمل فیلڈ کروسیبل کٹس بنیادی طور پر اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ ساختی حصے ہیں، جو کاربن پاؤڈر اور سلکان پاؤڈر کو گرم کرنے اور پگھلانے اور گرم رکھنے کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔ گریفائٹ مواد میں اعلی مخصوص طاقت اور مخصوص ماڈیولس، اچھی تھرمل جھٹکا مزاحمت اور سنکنرن مزاحمت کی خصوصیات ہیں، لیکن ان میں اعلی درجہ حرارت والے آکسیجن ماحول میں آسانی سے آکسائڈائز ہونے کے نقصانات ہیں، امونیا کے خلاف مزاحم نہیں، اور خراب سکریچ مزاحمت۔ سلکان کاربائڈ سنگل کرسٹل ترقی کے عمل میں اورسلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسیل ویفرپیداوار، گریفائٹ مواد کے استعمال کے لیے لوگوں کی بڑھتی ہوئی سخت ضروریات کو پورا کرنا مشکل ہے، جو اس کی نشوونما اور عملی اطلاق کو سنجیدگی سے روکتا ہے۔ لہٰذا، ٹینٹلم کاربائیڈ جیسی اعلیٰ درجہ حرارت والی کوٹنگز ابھرنا شروع ہو گئی ہیں۔

2. کی خصوصیاتٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ
TaC سیرامک ​​کا پگھلنے کا نقطہ 3880℃ تک ہے، اعلی سختی (Mohs سختی 9-10)، بڑی تھرمل چالکتا (22W·m-1·K−1)، بڑی موڑنے کی طاقت (340-400MPa)، اور چھوٹی تھرمل توسیع گتانک (6.6×10−6K−1)، اور بہترین تھرمو کیمیکل استحکام اور بہترین جسمانی خصوصیات کی نمائش کرتا ہے۔ اس میں گریفائٹ اور C/C جامع مواد کے ساتھ اچھی کیمیائی مطابقت اور مکینیکل مطابقت ہے۔ لہذا، ٹی اے سی کوٹنگ ایرو اسپیس تھرمل تحفظ، سنگل کرسٹل گروتھ، انرجی الیکٹرانکس اور طبی آلات میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے۔

ٹی سی لیپتگریفائٹ میں ننگے گریفائٹ یا SiC کوٹڈ گریفائٹ سے بہتر کیمیائی سنکنرن مزاحمت ہے، اسے 2600° کے اعلی درجہ حرارت پر مستحکم طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے، اور بہت سے دھاتی عناصر کے ساتھ رد عمل ظاہر نہیں کرتا ہے۔ یہ تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر سنگل کرسٹل گروتھ اور ویفر اینچنگ کے منظرناموں میں بہترین کوٹنگ ہے۔ یہ عمل اور تیاری میں درجہ حرارت اور نجاست کے کنٹرول کو نمایاں طور پر بہتر بنا سکتا ہے۔اعلی معیار کے سلکان کاربائیڈ ویفرزاور متعلقہepitaxial wafers. یہ خاص طور پر MOCVD آلات کے ساتھ GaN یا AlN سنگل کرسٹل اگانے اور PVT آلات کے ساتھ SiC سنگل کرسٹل اگانے کے لیے موزوں ہے، اور بڑھے ہوئے سنگل کرسٹل کا معیار نمایاں طور پر بہتر ہوا ہے۔

III ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت آلات کے فوائد
ٹینٹلم کاربائیڈ ٹی اے سی کوٹنگ کا استعمال کرسٹل ایج کے نقائص کا مسئلہ حل کرسکتا ہے اور کرسٹل کی نشوونما کے معیار کو بہتر بنا سکتا ہے۔ یہ "تیزی سے بڑھنے، موٹا ہونے، اور لمبے ہونے" کی بنیادی تکنیکی سمتوں میں سے ایک ہے۔ صنعتی تحقیق نے یہ بھی دکھایا ہے کہ ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت گریفائٹ کروسیبل زیادہ یکساں حرارت حاصل کر سکتا ہے، اس طرح SiC سنگل کرسٹل کی نمو کے لیے بہترین عمل کنٹرول فراہم کرتا ہے، اس طرح SiC کرسٹل کے کنارے پر پولی کرسٹل لائن بننے کے امکان کو نمایاں طور پر کم کر دیتا ہے۔ اس کے علاوہ، ٹینٹلم کاربائیڈ گریفائٹ کوٹنگ کے دو بڑے فوائد ہیں:

(I) SiC نقائص کو کم کرنا

SiC سنگل کرسٹل نقائص کو کنٹرول کرنے کے معاملے میں، عام طور پر تین اہم طریقے ہوتے ہیں۔ ترقی کے پیرامیٹرز اور اعلیٰ معیار کے ماخذ مواد (جیسے SiC سورس پاؤڈر) کو بہتر بنانے کے علاوہ، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹڈ گریفائٹ کروسیبل کا استعمال بھی کرسٹل کی اچھی کوالٹی حاصل کر سکتا ہے۔

روایتی گریفائٹ کروسیبل (a) اور TAC لیپت کروسیبل (b) کا اسکیمیٹک خاکہ

کوریا میں مشرقی یورپ کی یونیورسٹی کی تحقیق کے مطابق، ایس آئی سی کرسٹل کی نشوونما میں بنیادی ناپاکی نائٹروجن ہے، اور ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت گریفائٹ کروسیبلز ایس آئی سی کرسٹل کے نائٹروجن انضمام کو مؤثر طریقے سے محدود کر سکتے ہیں، اس طرح مائیکرو پائپ جیسے نقائص کی نسل کو کم کرتے ہیں اور کرسٹل کو بہتر بناتے ہیں۔ معیار مطالعات سے پتہ چلتا ہے کہ انہی حالات میں، روایتی گریفائٹ کروسیبلز اور ٹی اے سی کوٹیڈ کروسیبلز میں اگائے جانے والے SiC ویفرز کی کیریئر ارتکاز بالترتیب تقریباً 4.5×1017/cm اور 7.6×1015/cm ہے۔

روایتی گریفائٹ کروسیبلز (a) اور TAC لیپت کروسیبلز (b) میں اگائے گئے SiC سنگل کرسٹل میں نقائص کا موازنہ

(II) گریفائٹ کروسیبلز کی زندگی کو بہتر بنانا

فی الحال، SiC کرسٹل کی قیمت زیادہ ہے، جس میں گریفائٹ کے استعمال کی اشیاء کی قیمت تقریباً 30% ہے۔ گریفائٹ کے استعمال کی اشیاء کی لاگت کو کم کرنے کی کلید اس کی سروس لائف کو بڑھانا ہے۔ ایک برطانوی تحقیقی ٹیم کے اعداد و شمار کے مطابق، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگز گریفائٹ کے اجزاء کی سروس لائف کو 30-50 فیصد تک بڑھا سکتی ہیں۔ اس حساب کے مطابق، صرف ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت گریفائٹ کو تبدیل کرنے سے SiC کرسٹل کی قیمت 9%-15% کم ہو سکتی ہے۔

4. ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کی تیاری کا عمل
TaC کوٹنگ کی تیاری کے طریقوں کو تین اقسام میں تقسیم کیا جا سکتا ہے: ٹھوس مرحلے کا طریقہ، مائع مرحلے کا طریقہ اور گیس مرحلے کا طریقہ۔ ٹھوس مرحلے کے طریقہ کار میں بنیادی طور پر کمی کا طریقہ اور کیمیائی طریقہ شامل ہے۔ مائع مرحلے کے طریقہ کار میں پگھلے ہوئے نمک کا طریقہ، سول جیل طریقہ (Sol-Gel)، slurry-sintering طریقہ، پلازما چھڑکنے کا طریقہ؛ گیس فیز کے طریقہ کار میں کیمیائی بخارات جمع (CVD)، کیمیائی بخارات کی دراندازی (CVI) اور جسمانی بخارات جمع (PVD) شامل ہیں۔ مختلف طریقوں کے اپنے فوائد اور نقصانات ہیں۔ ان میں سے، CVD ایک نسبتاً پختہ اور وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والا طریقہ ہے TaC کوٹنگز کی تیاری کے لیے۔ اس عمل کی مسلسل بہتری کے ساتھ، گرم تار کیمیائی بخارات جمع کرنے اور آئن بیم کی مدد سے کیمیائی بخارات جمع کرنے جیسے نئے عمل تیار کیے گئے ہیں۔

TaC کوٹنگ میں ترمیم شدہ کاربن پر مبنی مواد میں بنیادی طور پر گریفائٹ، کاربن فائبر، اور کاربن/کاربن مرکب مواد شامل ہیں۔ گریفائٹ پر ٹی اے سی کوٹنگز تیار کرنے کے طریقوں میں پلازما اسپرے، سی وی ڈی، سلری سنٹرنگ وغیرہ شامل ہیں۔

CVD طریقہ کار کے فوائد: TaC کوٹنگز کی تیاری کے لیے CVD طریقہ ٹینٹلم ہیلائیڈ (TaX5) پر ٹینٹلم سورس اور ہائیڈرو کاربن (CnHm) کاربن ماخذ پر مبنی ہے۔ کچھ شرائط کے تحت، وہ بالترتیب Ta اور C میں گل جاتے ہیں، اور پھر TaC کوٹنگز حاصل کرنے کے لیے ایک دوسرے کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہیں۔ CVD طریقہ کو کم درجہ حرارت پر انجام دیا جا سکتا ہے، جو اعلی درجہ حرارت کی تیاری یا کوٹنگز کے علاج کی وجہ سے پیدا ہونے والے نقائص اور کم ہونے والی مکینیکل خصوصیات سے بچا جا سکتا ہے۔ کوٹنگ کی ساخت اور ساخت قابل کنٹرول ہے، اور اس میں اعلی طہارت، اعلی کثافت، اور یکساں موٹائی کے فوائد ہیں۔ زیادہ اہم بات یہ ہے کہ CVD کے ذریعے تیار کردہ TaC کوٹنگز کی ساخت اور ساخت کو ڈیزائن اور آسانی سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ یہ اعلیٰ معیار کی TaC کوٹنگز کی تیاری کے لیے نسبتاً پختہ اور وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والا طریقہ ہے۔

اس عمل کو متاثر کرنے والے بنیادی عوامل میں شامل ہیں:

A. گیس کے بہاؤ کی شرح (ٹینٹلم ماخذ، کاربن ماخذ کے طور پر ہائیڈرو کاربن گیس، کیریئر گیس، کم کرنے والی گیس Ar2، گیس H2 کو کم کرنا): گیس کے بہاؤ کی شرح میں تبدیلی کا درجہ حرارت کے میدان، دباؤ کے میدان، اور گیس کے بہاؤ کے میدان پر بہت زیادہ اثر پڑتا ہے۔ رد عمل کا چیمبر، جس کے نتیجے میں کوٹنگ کی ساخت، ساخت اور کارکردگی میں تبدیلیاں آتی ہیں۔ Ar بہاؤ کی شرح میں اضافہ کوٹنگ کی ترقی کی شرح کو سست کرے گا اور اناج کے سائز کو کم کرے گا، جبکہ TaCl5، H2، اور C3H6 کا داڑھ ماس تناسب کوٹنگ کی ساخت کو متاثر کرتا ہے۔ H2 سے TaCl5 کا داڑھ کا تناسب (15-20):1 ہے، جو زیادہ موزوں ہے۔ TaCl5 سے C3H6 کا داڑھ کا تناسب نظریاتی طور پر 3:1 کے قریب ہے۔ ضرورت سے زیادہ TaCl5 یا C3H6 Ta2C یا مفت کاربن کی تشکیل کا سبب بنے گا، جو ویفر کے معیار کو متاثر کرے گا۔

B. جمع کرنے کا درجہ حرارت: جمع کرنے کا درجہ حرارت جتنا زیادہ ہوگا، جمع ہونے کی شرح اتنی ہی تیز ہوگی، اناج کا سائز اتنا ہی بڑا ہوگا، اور کوٹنگ اتنی ہی کھردری ہوگی۔ اس کے علاوہ، درجہ حرارت اور ہائیڈرو کاربن کے سڑنے کی رفتار C اور TaCl5 میں گلنے سے Ta میں فرق ہے، اور Ta اور C کے Ta2C بننے کا زیادہ امکان ہے۔ ٹی اے سی کوٹنگ میں ترمیم شدہ کاربن مواد پر درجہ حرارت کا بہت زیادہ اثر ہوتا ہے۔ جیسے جیسے جمع کرنے کا درجہ حرارت بڑھتا ہے، جمع ہونے کی شرح بڑھ جاتی ہے، ذرہ کا سائز بڑھتا ہے، اور ذرہ کی شکل کروی سے پولی ہیڈرل میں بدل جاتی ہے۔ اس کے علاوہ، جمع کرنے کا درجہ حرارت جتنا زیادہ ہوگا، TaCl5 کا سڑنا جتنی تیزی سے ہوگا، C اتنا ہی کم ہوگا، کوٹنگ میں دباؤ اتنا ہی زیادہ ہوگا، اور آسانی سے دراڑیں پیدا ہوں گی۔ تاہم، کم جمع کرنے کا درجہ حرارت کم کوٹنگ جمع کرنے کی کارکردگی، زیادہ جمع کرنے کا وقت، اور خام مال کی زیادہ لاگت کا باعث بنے گا۔

C. جمع کرنے کا دباؤ: جمع دباؤ کا مواد کی سطح کی آزاد توانائی سے گہرا تعلق ہے اور یہ رد عمل کے چیمبر میں گیس کے قیام کے وقت کو متاثر کرے گا، اس طرح کوٹنگ کے نیوکلیشن کی رفتار اور ذرہ سائز کو متاثر کرتا ہے۔ جیسے جیسے جمع کرنے کا دباؤ بڑھتا ہے، گیس کی رہائش کا وقت لمبا ہو جاتا ہے، ری ایکٹنٹس کے پاس نیوکلیشن رد عمل سے گزرنے کے لیے زیادہ وقت ہوتا ہے، رد عمل کی شرح بڑھ جاتی ہے، ذرات بڑے ہو جاتے ہیں، اور کوٹنگ موٹی ہو جاتی ہے۔ اس کے برعکس، جیسے جیسے جمع کرنے کا دباؤ کم ہوتا ہے، رد عمل گیس کی رہائش کا وقت کم ہوتا ہے، رد عمل کی رفتار کم ہوتی ہے، ذرات چھوٹے ہو جاتے ہیں، اور کوٹنگ پتلی ہوتی ہے، لیکن جمع دباؤ کا کرسٹل کی ساخت اور کوٹنگ کی ساخت پر بہت کم اثر پڑتا ہے۔

V. ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کی ترقی کا رجحان
TaC (6.6×10−6K−1) کا تھرمل توسیعی گتانک کاربن پر مبنی مواد جیسے گریفائٹ، کاربن فائبر، اور C/C مرکب مواد سے کچھ مختلف ہے، جو سنگل فیز TaC کوٹنگز کو کریکنگ کا شکار بناتا ہے اور گرنا ٹی اے سی کوٹنگز کے خاتمے اور آکسیڈیشن مزاحمت، اعلی درجہ حرارت کے مکینیکل استحکام، اور اعلی درجہ حرارت کی کیمیائی سنکنرن مزاحمت کو مزید بہتر بنانے کے لیے، محققین نے کوٹنگ سسٹمز پر تحقیق کی ہے جیسے کہ جامع کوٹنگ سسٹم، ٹھوس حل سے بڑھے ہوئے کوٹنگ سسٹم، اور گریڈینٹ۔ کوٹنگ کے نظام.

جامع کوٹنگ سسٹم ایک ہی کوٹنگ کی دراڑ کو بند کرنا ہے۔ عام طور پر، دیگر کوٹنگز کو ٹی اے سی کی سطح یا اندرونی تہہ میں متعارف کرایا جاتا ہے تاکہ ایک جامع کوٹنگ سسٹم بنایا جا سکے۔ ٹھوس محلول کو مضبوط کرنے والے کوٹنگ سسٹم HfC، ZrC وغیرہ میں چہرے پر مرکوز کیوبک ڈھانچہ TaC جیسا ہی ہوتا ہے، اور دو کاربائیڈز ایک دوسرے میں لامحدود طور پر گھلنشیل ہو کر ٹھوس محلول کا ڈھانچہ بنا سکتے ہیں۔ Hf(Ta)C کوٹنگ شگاف سے پاک ہے اور C/C مرکب مواد کے ساتھ اچھی طرح سے چپکتی ہے۔ کوٹنگ کی بہترین اینٹی ایبلیشن کارکردگی ہے۔ تدریجی کوٹنگ سسٹم گریڈینٹ کوٹنگ سے مراد کوٹنگ کے اجزاء کی موٹائی کی سمت کے ساتھ ارتکاز ہے۔ ڈھانچہ اندرونی تناؤ کو کم کر سکتا ہے، تھرمل توسیعی گتانکوں کی مماثلت کو بہتر بنا سکتا ہے، اور دراڑ سے بچ سکتا ہے۔

(II) ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ڈیوائس کی مصنوعات

QYR (Hengzhou Bozhi) کے اعداد و شمار اور پیشین گوئیوں کے مطابق، 2021 میں عالمی ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کی مارکیٹ کی فروخت US$1.5986 ملین تک پہنچ گئی (سوائے کری کے خود تیار کردہ اور خود فراہم کردہ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ڈیوائس پروڈکٹس) اور یہ ابھی بھی ابتدائی دور میں ہے۔ صنعت کی ترقی کے مراحل

1. کرسٹل کی ترقی کے لیے درکار کرسٹل ایکسپینشن رِنگز اور کروسیبلز: فی انٹرپرائز 200 کرسٹل گروتھ فرنسز کی بنیاد پر، 30 کرسٹل گروتھ کمپنیوں کو درکار TaC کوٹڈ ڈیوائسز کا مارکیٹ شیئر تقریباً 4.7 بلین یوآن ہے۔

2. TaC ٹرے: ہر ٹرے میں 3 ویفرز ہو سکتے ہیں، ہر ٹرے کو 1 مہینے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے، اور ہر 100 ویفرز کے لیے 1 ٹرے استعمال کی جاتی ہے۔ 3 ملین ویفرز کو 30,000 TaC ٹرے کی ضرورت ہوتی ہے، ہر ٹرے میں تقریباً 20,000 ٹکڑے ہوتے ہیں، اور ہر سال تقریباً 600 ملین کی ضرورت ہوتی ہے۔

3. کاربن میں کمی کے دیگر منظرنامے۔ جیسے کہ اعلی درجہ حرارت والی فرنس استر، CVD نوزل، فرنس پائپ وغیرہ، تقریباً 100 ملین۔