ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت سسپٹر سپورٹ پلیٹکی ایک پتلی پرت کے ساتھ احاطہ کرتا ہے کہ ایک susceptor یا سپورٹ ڈھانچہ ہےٹینٹلم کاربائیڈ. یہ کوٹنگ سسپٹر کی سطح پر جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) یا کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) جیسی تکنیکوں کے ذریعہ تشکیل دی جاسکتی ہے ، جس سے سسپٹر کو اعلی خصوصیات ملتی ہیں۔ٹینٹلم کاربائیڈ.
سیمیسیرا مختلف اجزاء اور کیریئرز کے لیے خصوصی ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ فراہم کرتا ہے۔سیمیسیرا کوٹنگ کا معروف عمل ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگز کو اعلی پاکیزگی، اعلی درجہ حرارت کے استحکام اور اعلی کیمیائی رواداری حاصل کرنے کے قابل بناتا ہے، SIC/GAN کرسٹل اور EPI تہوں کی مصنوعات کے معیار کو بہتر بناتا ہے۔گریفائٹ لیپت TaC susceptor)، اور کلیدی ری ایکٹر کے اجزاء کی زندگی کو بڑھانا۔ ٹینٹلم کاربائیڈ ٹی اے سی کوٹنگ کا استعمال کنارے کے مسئلے کو حل کرنے اور کرسٹل کی نشوونما کے معیار کو بہتر بنانے کے لیے ہے، اور سیمیسیرا نے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ٹیکنالوجی (سی وی ڈی) کو بین الاقوامی اعلی درجے کی سطح تک پہنچاتے ہوئے کامیابی حاصل کی ہے۔
ترقی کے سالوں کے بعد، Semicera کی ٹیکنالوجی کو فتح کر لیا ہےCVD TaCآر اینڈ ڈی ڈیپارٹمنٹ کی مشترکہ کوششوں سے۔ SiC wafers کے بڑھنے کے عمل میں نقائص پیدا ہونا آسان ہیں، لیکن استعمال کے بعدٹی سی، فرق اہم ہے۔ ذیل میں ٹی اے سی کے ساتھ اور اس کے بغیر ویفرز کا موازنہ کیا گیا ہے، نیز سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے سیمیسیرا کے حصوں کا۔
ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت بیس سپورٹ پلیٹوں کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں:
1. اعلی درجہ حرارت کا استحکام: ٹینٹلم کاربائیڈ میں بہترین اعلی درجہ حرارت کا استحکام ہے، جس سے لیپت بیس سپورٹ پلیٹ اعلی درجہ حرارت کے کام کرنے والے ماحول میں سپورٹ کی ضروریات کے لیے موزوں ہے۔
2. سنکنرن مزاحمت: ٹینٹلم کاربائیڈ کی کوٹنگ اچھی سنکنرن مزاحمت ہے، کیمیائی سنکنرن اور آکسیکرن کے خلاف مزاحمت کر سکتی ہے، اور بیس کی سروس کی زندگی کو بڑھا سکتی ہے۔
3. اعلی سختی اور لباس مزاحمت: ٹینٹلم کاربائڈ کوٹنگ کی اعلی سختی بیس سپورٹ پلیٹ کو اچھی لباس مزاحمت فراہم کرتی ہے، جو ان مواقع کے لیے موزوں ہے جن میں اعلی لباس مزاحمت کی ضرورت ہوتی ہے۔
4. کیمیائی استحکام: ٹینٹلم کاربائیڈ مختلف قسم کے کیمیائی مادوں کے لیے اعلیٰ استحکام رکھتا ہے، جس سے لیپت بیس سپورٹ پلیٹ کچھ سنکنرن ماحول میں اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتی ہے۔
TaC کے ساتھ اور بغیر
TaC استعمال کرنے کے بعد (دائیں)
اس کے علاوہ، Semicera کیٹی سی لیپت مصنوعاتکے مقابلے میں ایک طویل سروس کی زندگی اور زیادہ اعلی درجہ حرارت مزاحمت کی نمائشایس سی کوٹنگز.لیبارٹری کی پیمائش نے یہ ظاہر کیا ہے کہ ہمارےٹی اے سی کوٹنگزمسلسل 2300 ڈگری سیلسیس تک درجہ حرارت پر طویل مدت تک کارکردگی کا مظاہرہ کر سکتا ہے۔ ذیل میں ہمارے نمونوں کی کچھ مثالیں ہیں:
