سیمیسیرا مختلف اجزاء اور کیریئرز کے لیے خصوصی ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ فراہم کرتا ہے۔سیمیسیرا کوٹنگ کا معروف عمل ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگز کو اعلی پاکیزگی، اعلی درجہ حرارت کے استحکام اور اعلی کیمیائی رواداری حاصل کرنے کے قابل بناتا ہے، SIC/GAN کرسٹل اور EPI تہوں کی مصنوعات کے معیار کو بہتر بناتا ہے۔گریفائٹ لیپت TaC susceptor)، اور کلیدی ری ایکٹر کے اجزاء کی زندگی کو بڑھانا۔ٹینٹلم کاربائیڈ ٹی اے سی کوٹنگ کا استعمال کنارے کے مسئلے کو حل کرنے اور کرسٹل کی نشوونما کے معیار کو بہتر بنانے کے لیے ہے، اور سیمیسیرا نے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ٹیکنالوجی (سی وی ڈی) کو بین الاقوامی اعلی درجے کی سطح تک پہنچاتے ہوئے کامیابی حاصل کی ہے۔
گریفائٹ ایک بہترین اعلی درجہ حرارت والا مواد ہے، لیکن یہ اعلی درجہ حرارت پر آسانی سے آکسائڈائز ہو جاتا ہے۔غیر فعال گیس کے ساتھ ویکیوم بھٹیوں میں بھی، یہ اب بھی سست آکسیکرن سے گزر سکتا ہے۔CVD ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ کا استعمال گریفائٹ سبسٹریٹ کی مؤثر طریقے سے حفاظت کر سکتا ہے، جو کہ گریفائٹ کی طرح اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت فراہم کرتا ہے۔ٹی اے سی بھی ایک غیر فعال مواد ہے، یعنی یہ اعلی درجہ حرارت پر آرگن یا ہائیڈروجن جیسی گیسوں کے ساتھ رد عمل ظاہر نہیں کرے گا۔انکوائریٹینٹلم کاربائیڈ CVD کوٹنگ کروسیبل ابھی!
ترقی کے سالوں کے بعد، Semicera کی ٹیکنالوجی کو فتح کر لیا ہےCVD TaCآر اینڈ ڈی ڈیپارٹمنٹ کی مشترکہ کوششوں سے۔SiC wafers کے بڑھنے کے عمل میں نقائص پیدا ہونا آسان ہیں، لیکن استعمال کے بعدٹی سی، فرق اہم ہے۔ذیل میں ٹی اے سی کے ساتھ اور اس کے بغیر ویفرز کا موازنہ کیا گیا ہے، نیز سنگل کرسٹل کی نشوونما کے لیے سیمیسیرا کے حصوں کا۔
TaC کے ساتھ اور بغیر
TaC استعمال کرنے کے بعد (دائیں)
اس کے علاوہ، Semicera کیٹی سی لیپت مصنوعاتکے مقابلے میں ایک طویل سروس کی زندگی اور زیادہ سے زیادہ اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت کی نمائشایس سی کوٹنگز.لیبارٹری کی پیمائش نے یہ ظاہر کیا ہے کہ ہمارےٹی اے سی کوٹنگزمسلسل 2300 ڈگری سیلسیس تک درجہ حرارت پر طویل مدت تک کارکردگی کا مظاہرہ کر سکتا ہے۔ذیل میں ہمارے نمونوں کی کچھ مثالیں ہیں:
