CVD TaC کوٹنگ

CVD TaC کوٹنگ کا تعارف:

سی وی ڈی ٹی اے سی کوٹنگ ایک ایسی ٹیکنالوجی ہے جو ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگ کو سبسٹریٹ کی سطح پر جمع کرنے کے لیے کیمیائی بخارات کا استعمال کرتی ہے۔ ٹینٹلم کاربائیڈ بہترین مکینیکل اور کیمیائی خصوصیات کے ساتھ اعلیٰ کارکردگی کا سیرامک مواد ہے۔ CVD عمل گیس کے رد عمل کے ذریعے سبسٹریٹ کی سطح پر ایک یکساں TaC فلم تیار کرتا ہے۔

اہم خصوصیات:

بہترین سختی اور لباس مزاحمت: ٹینٹلم کاربائیڈ میں انتہائی سختی ہے، اور CVD TaC کوٹنگ نمایاں طور پر سبسٹریٹ کے پہننے کی مزاحمت کو بہتر بنا سکتی ہے۔ یہ کوٹنگ کو زیادہ پہننے والے ماحول میں ایپلی کیشنز کے لیے مثالی بناتا ہے، جیسے کاٹنے کے اوزار اور سانچے۔

اعلی درجہ حرارت استحکام: TaC کوٹنگز 2200°C تک درجہ حرارت پر اہم بھٹی اور ری ایکٹر کے اجزاء کی حفاظت کرتی ہیں، اچھی استحکام کا مظاہرہ کرتی ہیں۔ یہ انتہائی درجہ حرارت کے حالات میں کیمیائی اور مکینیکل استحکام کو برقرار رکھتا ہے، یہ اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں اعلی درجہ حرارت کی پروسیسنگ اور ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتا ہے۔

بہترین کیمیائی استحکام: ٹینٹلم کاربائیڈ میں زیادہ تر تیزابوں اور الکالیوں کے خلاف مضبوط سنکنرن مزاحمت ہوتی ہے، اور CVD TaC کوٹنگ مؤثر طریقے سے سنکنرن ماحول میں سبسٹریٹ کو پہنچنے والے نقصان کو روک سکتی ہے۔

ہائی پگھلنے کا مقام: ٹینٹلم کاربائیڈ کا پگھلنے کا ایک اعلی مقام (تقریباً 3880 °C) ہے، جس سے CVD TaC کوٹنگ کو پگھلنے یا انحطاط کیے بغیر انتہائی اعلی درجہ حرارت کے حالات میں استعمال کیا جا سکتا ہے۔

بہترین تھرمل چالکتا: TaC کوٹنگ میں اعلی تھرمل چالکتا ہے، جو اعلی درجہ حرارت کے عمل میں گرمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرنے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی کو روکنے میں مدد کرتا ہے۔

ممکنہ ایپلی کیشنز:

• Gallium Nitride (GaN) اور Silicon Carbide epitaxial CVD ری ایکٹر کے اجزاء بشمول ویفر کیریئرز، سیٹلائٹ ڈشز، شاور ہیڈز، چھتیں، اور سسپٹرز

• سلکان کاربائیڈ، گیلیم نائٹرائڈ اور ایلومینیم نائٹرائڈ (AlN) کرسٹل گروتھ اجزاء بشمول کروسیبلز، سیڈ ہولڈرز، گائیڈ رِنگز اور فلٹرز

• صنعتی اجزاء بشمول مزاحمتی حرارتی عناصر، انجیکشن نوزلز، ماسکنگ رِنگز اور بریزنگ جیگ

درخواست کی خصوصیات:

• درجہ حرارت 2000 ° C سے زیادہ مستحکم، انتہائی درجہ حرارت پر کام کرنے کی اجازت دیتا ہے۔
ہائیڈروجن (Hz)، امونیا (NH3)، مونوسیلین (SiH4) اور سلکان (Si) کے خلاف مزاحم، سخت کیمیائی ماحول میں تحفظ فراہم کرتا ہے۔
• اس کا تھرمل جھٹکا مزاحمت تیز آپریٹنگ سائیکلوں کو قابل بناتا ہے۔
• گریفائٹ میں مضبوط چپکنے والی ہوتی ہے، جو طویل سروس کی زندگی کو یقینی بناتی ہے اور کوئی کوٹنگ ڈیلامینیشن نہیں ہوتی۔
غیر ضروری نجاست یا آلودگی کو ختم کرنے کے لیے انتہائی اعلیٰ طہارت
• تنگ جہتی رواداری کے لئے کنفارمل کوٹنگ کوریج

تکنیکی وضاحتیں:

CVD کے ذریعے گھنے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگز کی تیاری：