سیمیسیراسلیکن کاربائیڈ سیرامک کوٹنگانتہائی سخت اور لباس مزاحم سلکان کاربائیڈ (SiC) مواد سے بنی ایک اعلیٰ کارکردگی والی حفاظتی کوٹنگ ہے۔ کوٹنگ عام طور پر سبسٹریٹ کی سطح پر CVD یا PVD عمل کے ساتھ جمع ہوتی ہے۔سلکان کاربائیڈ کے ذرات، بہترین کیمیائی سنکنرن مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت استحکام فراہم کرتا ہے۔ لہذا، سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ آلات کے کلیدی اجزاء میں سلیکن کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے۔
سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں،سی سی کوٹنگ1600 ° C تک کے انتہائی اعلی درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے، اس لیے سلیکن کاربائیڈ سرامک کوٹنگ اکثر آلات یا آلات کے لیے حفاظتی پرت کے طور پر استعمال ہوتی ہے تاکہ اعلی درجہ حرارت یا سنکنرن ماحول میں نقصان کو روکا جا سکے۔
اسی وقت،سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگتیزاب، الکلیس، آکسائیڈ اور دیگر کیمیائی ری ایجنٹس کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کر سکتے ہیں، اور مختلف قسم کے کیمیائی مادوں کے خلاف سنکنرن کے خلاف مزاحمت کر سکتے ہیں۔ لہذا، یہ پروڈکٹ سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں مختلف سنکنرن ماحول کے لیے موزوں ہے۔
مزید برآں، دیگر سیرامک مواد کے مقابلے میں، SiC اعلی تھرمل چالکتا ہے اور مؤثر طریقے سے گرمی چلا سکتا ہے۔ یہ خصوصیت اس بات کا تعین کرتی ہے کہ سیمی کنڈکٹر کے عمل میں جن کے لیے درجہ حرارت کے عین مطابق کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے، اعلی تھرمل چالکتاسلیکن کاربائیڈ سیرامک کوٹنگگرمی کو یکساں طور پر پھیلانے، مقامی حد سے زیادہ گرمی کو روکنے اور اس بات کو یقینی بنانے میں مدد کرتا ہے کہ آلہ زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت پر کام کرتا ہے۔
| CVD sic کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات | |
| جائیداد | عام قدر |
| کرسٹل کا ڈھانچہ | ایف سی سی β فیز پولی کرسٹل لائن، بنیادی طور پر (111) پر مبنی |
| کثافت | 3.21 گرام/cm³ |
| سختی | 2500 وکرز سختی (500 گرام لوڈ) |
| اناج کا سائز | 2~10μm |
| کیمیائی طہارت | 99.99995% |
| حرارت کی صلاحیت | 640 J·kg-1· K-1 |
| Sublimation درجہ حرارت | 2700℃ |
| لچکدار طاقت | 415 MPa RT 4 پوائنٹ |
| نوجوان کا ماڈیولس | 430 Gpa 4pt موڑ، 1300℃ |
| تھرمل چالکتا | 300W·m-1· K-1 |
| تھرمل توسیع (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
