CVD بلک سلکان کاربائیڈ (SiC)
جائزہ:سی وی ڈیبلک سلکان کاربائیڈ (SiC)پلازما اینچنگ آلات، ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) ایپلی کیشنز، اور دیگر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ایک انتہائی مطلوب مواد ہے۔ اس کی غیر معمولی مکینیکل، کیمیائی اور تھرمل خصوصیات اسے جدید ٹیکنالوجی ایپلی کیشنز کے لیے ایک مثالی مواد بناتی ہیں جو کہ اعلیٰ درستگی اور پائیداری کا مطالبہ کرتی ہے۔
CVD بلک SiC کی درخواستیں:سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں بلک ایس آئی سی بہت اہم ہے، خاص طور پر پلازما ایچنگ سسٹم میں، جہاں فوکس رِنگز، گیس شاور ہیڈز، ایج رِنگز، اور پلاٹینز جیسے اجزاء SiC کی شاندار سنکنرن مزاحمت اور تھرمل چالکتا سے فائدہ اٹھاتے ہیں۔ اس کا استعمال تک پھیلا ہوا ہے۔آر ٹی پیبغیر کسی خاص انحطاط کے تیز درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کو برداشت کرنے کی SiC کی صلاحیت کی وجہ سے نظام۔
اینچنگ کے سامان کے علاوہ، CVDبلک SiCپھیلاؤ بھٹیوں اور کرسٹل کی ترقی کے عمل میں پسند کیا جاتا ہے، جہاں اعلی تھرمل استحکام اور سخت کیمیائی ماحول کے خلاف مزاحمت کی ضرورت ہوتی ہے۔ یہ اوصاف SiC کو اعلیٰ درجہ حرارت اور سنکنار گیسوں جیسے کہ کلورین اور فلورین پر مشتمل ہائی ڈیمانڈ ایپلی کیشنز کے لیے انتخاب کا مواد بناتے ہیں۔
CVD بلک SiC اجزاء کے فوائد:
•اعلی کثافت:3.2 g/cm³ کی کثافت کے ساتھ،CVD بلک SiCاجزاء پہننے اور میکانی اثرات کے لئے انتہائی مزاحم ہیں۔
•اعلی تھرمل چالکتا:300 W/m·K کی تھرمل چالکتا پیش کرتے ہوئے، بلک SiC مؤثر طریقے سے گرمی کا انتظام کرتا ہے، جو اسے انتہائی تھرمل سائیکلوں کے سامنے آنے والے اجزاء کے لیے مثالی بناتا ہے۔
•غیر معمولی کیمیائی مزاحمت:اینچنگ گیسوں کے ساتھ ایس آئی سی کی کم رد عمل، بشمول کلورین اور فلورین پر مبنی کیمیکل، طویل عرصے تک اجزاء کی زندگی کو یقینی بناتا ہے۔
•سایڈست مزاحمت: سی وی ڈی بلک ایس آئی سیمزاحمت کو 10⁻²–10⁴ Ω-سینٹی میٹر کی حد میں اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے، جس سے یہ مخصوص اینچنگ اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کی ضروریات کے مطابق ہو سکتا ہے۔
•تھرمل ایکسپینشن گتانک:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C) کے تھرمل توسیعی گتانک کے ساتھ، CVD بلک SiC تھرمل جھٹکے کے خلاف مزاحمت کرتا ہے، تیز حرارت اور کولنگ سائیکل کے دوران بھی جہتی استحکام کو برقرار رکھتا ہے۔
•پلازما میں استحکام:سیمی کنڈکٹر کے عمل میں پلازما اور رد عمل والی گیسوں کی نمائش ناگزیر ہے، لیکنCVD بلک SiCسنکنرن اور انحطاط کے خلاف اعلیٰ مزاحمت پیش کرتا ہے، متبادل تعدد اور بحالی کے مجموعی اخراجات کو کم کرتا ہے۔
تکنیکی وضاحتیں:
•قطر:305 ملی میٹر سے زیادہ
•مزاحمتی صلاحیت:10⁻²–10⁴ Ω-cm کے اندر ایڈجسٹ
•کثافت:3.2 g/cm³
•تھرمل چالکتا:300 W/m·K
•تھرمل ایکسپینشن گتانک:4.8 x 10⁻⁶/°C (25–1000°C)
حسب ضرورت اور لچک:پرسیمیسیرا سیمی کنڈکٹرہم سمجھتے ہیں کہ ہر سیمی کنڈکٹر ایپلیکیشن کو مختلف وضاحتیں درکار ہو سکتی ہیں۔ یہی وجہ ہے کہ ہمارے CVD بلک SiC اجزاء آپ کے سازوسامان کی ضروریات کے مطابق ایڈجسٹ ہونے والی مزاحمتی صلاحیت اور موزوں جہتوں کے ساتھ مکمل طور پر حسب ضرورت ہیں۔ چاہے آپ اپنے پلازما ایچنگ سسٹم کو بہتر بنا رہے ہوں یا RTP یا ڈفیوژن کے عمل میں پائیدار اجزاء تلاش کر رہے ہوں، ہمارا CVD بلک SiC بے مثال کارکردگی پیش کرتا ہے۔
