دیMOCVDیہ طریقہ ایک انتہائی مستحکم عمل ہے جو اس وقت صنعت میں اعلیٰ معیار کی سنگل کرسٹل لائن پتلی فلموں کو اگانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، جیسے سنگل فیز InGaN ایپلیئرز، III-N میٹریلز، اور ملٹی کوانٹم ویل ڈھانچے والی سیمی کنڈکٹر فلمیں، اور اس کی بڑی اہمیت ہے۔ سیمی کنڈکٹر اور آپٹو الیکٹرانک آلات کی تیاری۔
دیSiC کوٹنگ MOCVD سسپٹرسیلیکون کاربائیڈ (SiC) کے ساتھ لیپت ایک خصوصی ویفر ہولڈر ہے۔epitaxial دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) کے عمل میں اضافہ۔
SiC کوٹنگ میں بہترین کیمیائی مزاحمت اور تھرمل استحکام ہے، یہ MOCVD susceptors کے لیے ایک مثالی انتخاب بناتا ہے جو epitaxial ترقی کے عمل کے مطالبے میں استعمال ہوتے ہیں۔
MOCVD عمل کا ایک کلیدی جزو susceptor ہے، جو تیار کی جانے والی پتلی فلموں کی یکسانیت اور معیار کو یقینی بنانے کے لیے ایک کلیدی عنصر ہے۔
ایک susceptor کیا ہے؟ سسپٹر ایک خصوصی جزو ہے جو MOCVD کے عمل میں سبسٹریٹ کو سہارا دینے اور گرم کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے جس پر پتلی فلم جمع ہوتی ہے۔ اس کے متعدد افعال ہیں، بشمول برقی مقناطیسی توانائی کو جذب کرنا، اسے حرارت میں تبدیل کرنا، اور گرمی کو سبسٹریٹ پر یکساں طور پر تقسیم کرنا۔ یہ یکساں حرارت عین موٹائی اور ساخت کے ساتھ یکساں پتلی فلموں کی نشوونما کے لیے ضروری ہے۔
شکوک کی اقسام:
1. گریفائٹ سسپٹرز: گریفائٹ سسپٹرز اکثر حفاظتی تہہ کے ساتھ لیپت ہوتے ہیں جیسےسلکان کاربائیڈ (SiC)، جو اس کی اعلی تھرمل چالکتا اور استحکام کے لئے جانا جاتا ہے۔ دیسی سی کوٹنگایک سخت، حفاظتی سطح فراہم کرتا ہے جو اعلی درجہ حرارت پر سنکنرن اور انحطاط کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔
2. سلکان کاربائیڈ (SiC) susceptors: یہ susceptors مکمل طور پر SiC سے بنے ہیں اور بہترین تھرمل استحکام اور پہننے کی مزاحمت رکھتے ہیں۔ SiC susceptors خاص طور پر اعلی درجہ حرارت کے عمل اور corrosive ماحول کے لیے موزوں ہیں۔
MOCVD میں شکوک کیسے کام کرتے ہیں:
MOCVD کے عمل میں، پیشگی کو رد عمل کے چیمبر میں متعارف کرایا جاتا ہے جہاں وہ گل جاتے ہیں اور سبسٹریٹ پر ایک پتلی فلم بنانے کے لیے رد عمل ظاہر کرتے ہیں۔ سسپٹر اس بات کو یقینی بنا کر ایک اہم کردار ادا کرتا ہے کہ سبسٹریٹ کو یکساں طور پر گرم کیا گیا ہے، جو پوری سبسٹریٹ سطح پر فلم کی مستقل خصوصیات کے حصول کے لیے اہم ہے۔ susceptor کے مواد اور ڈیزائن کو جمع کرنے کے عمل کی مخصوص ضروریات، جیسے درجہ حرارت کی حد اور کیمیائی مطابقت کو پورا کرنے کے لیے احتیاط سے منتخب کیا جاتا ہے۔
اعلیٰ معیار کے سسیپٹرز کے استعمال کے فوائد:
• بہتر فلم کا معیار: گرمی کی یکساں تقسیم فراہم کرکے، سسپٹر مسلسل موٹائی اور ساخت کے ساتھ فلموں کو حاصل کرنے میں مدد کرتا ہے، جو سیمی کنڈکٹر آلات کی کارکردگی کے لیے اہم ہے۔
• بہتر عمل کی کارکردگی: اعلیٰ معیار کے سسپٹرز نقائص کے امکانات کو کم کرکے اور قابل استعمال فلموں کی پیداوار میں اضافہ کرکے MOCVD عمل کی مجموعی کارکردگی کو بڑھاتے ہیں۔
• عمر اور بھروسہ: پائیدار مواد سے بنے سسپٹرز جیسے SiC طویل مدتی اعتبار کو یقینی بناتے ہیں اور دیکھ بھال کے اخراجات کو کم کرتے ہیں۔
سسپٹر MOCVD کے عمل میں ایک لازمی جزو ہے اور پتلی فلم جمع کرنے کے معیار اور کارکردگی کو براہ راست متاثر کرتا ہے۔ دستیاب سائز، MOCVD susceptors اور قیمتوں کے بارے میں مزید معلومات کے لیے، براہ کرم ہم سے رابطہ کرنے میں ہچکچاہٹ محسوس نہ کریں۔ ہمارے انجینئرز آپ کو مناسب مواد کے بارے میں مشورہ دینے اور آپ کے تمام سوالات کے جوابات دینے میں خوش ہوں گے۔
فون: +86-13373889683
واٹس ایپ: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
پوسٹ ٹائم: اگست 12-2024