کے بنیادی اجزاء میں سے ایک کے طور پرMOCVD کا سامان، گریفائٹ بیس سبسٹریٹ کا کیریئر اور ہیٹنگ باڈی ہے، جو براہ راست فلمی مواد کی یکسانیت اور پاکیزگی کا تعین کرتا ہے، اس لیے اس کا معیار براہ راست اپیٹیکسیل شیٹ کی تیاری پر اثر انداز ہوتا ہے، اور اسی وقت، تعداد میں اضافے کے ساتھ۔ استعمال کرتا ہے اور کام کے حالات کی تبدیلی، یہ پہننے کے لئے بہت آسان ہے، استعمال کی اشیاء سے تعلق رکھتے ہیں.
اگرچہ گریفائٹ بہترین تھرمل چالکتا اور استحکام ہے، یہ ایک بنیادی جزو کے طور پر ایک اچھا فائدہ ہےMOCVD کا سامان، لیکن پیداوار کے عمل میں، گریفائٹ سنکنرن گیسوں اور دھاتی آرگینکس کی باقیات کی وجہ سے پاؤڈر کو خراب کر دے گا، اور گریفائٹ بیس کی سروس لائف بہت کم ہو جائے گی۔ ایک ہی وقت میں، گرنے والا گریفائٹ پاؤڈر چپ کو آلودگی کا باعث بنے گا۔
کوٹنگ ٹیکنالوجی کا ظہور سطح پاؤڈر فکسشن فراہم کر سکتا ہے، تھرمل چالکتا کو بڑھا سکتا ہے، اور گرمی کی تقسیم کو برابر کر سکتا ہے، جو اس مسئلے کو حل کرنے کے لیے اہم ٹیکنالوجی بن گئی ہے۔ گریفائٹ بیس میںMOCVD کا سامانماحول کا استعمال کریں، گریفائٹ بیس سطح کی کوٹنگ کو درج ذیل خصوصیات کو پورا کرنا چاہیے:
(1) گریفائٹ بیس کو مکمل طور پر لپیٹا جاسکتا ہے، اور کثافت اچھی ہے، بصورت دیگر گریفائٹ بیس کو سنکنرن گیس میں خراب کرنا آسان ہے۔
(2) گریفائٹ بیس کے ساتھ امتزاج کی طاقت زیادہ ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ کوٹنگ کو کئی اعلی درجہ حرارت اور کم درجہ حرارت کے چکروں کے بعد گرنا آسان نہیں ہے۔
(3) اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں کوٹنگ کی ناکامی سے بچنے کے لیے اس میں اچھی کیمیائی استحکام ہے۔
SiC میں سنکنرن مزاحمت، اعلی تھرمل چالکتا، تھرمل جھٹکا مزاحمت اور اعلی کیمیائی استحکام کے فوائد ہیں، اور یہ GaN epitaxial ماحول میں اچھی طرح سے کام کر سکتا ہے۔ اس کے علاوہ، SiC کا تھرمل ایکسپینشن گتانک گریفائٹ سے بہت کم مختلف ہے، اس لیے SiC گریفائٹ بیس کی سطح کوٹنگ کے لیے ترجیحی مواد ہے۔
اس وقت، عام SiC بنیادی طور پر 3C، 4H اور 6H قسم ہے، اور مختلف کرسٹل اقسام کے SiC استعمال مختلف ہیں۔ مثال کے طور پر، 4H-SiC ہائی پاور ڈیوائسز تیار کر سکتا ہے۔ 6H-SiC سب سے زیادہ مستحکم ہے اور فوٹو الیکٹرک آلات تیار کر سکتا ہے۔ GaN سے ملتے جلتے ڈھانچے کی وجہ سے، 3C-SiC کو GaN epitaxial تہہ تیار کرنے اور SiC-GaN RF آلات تیار کرنے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ 3C-SiC کے نام سے بھی جانا جاتا ہے۔β-SiC، اور کا ایک اہم استعمالβ-SiC ایک فلم اور کوٹنگ مواد کے طور پر ہے، توβ-SiC فی الحال کوٹنگ کے لیے اہم مواد ہے۔
پوسٹ ٹائم: نومبر-06-2023