عام ٹی اے سی لیپت گریفائٹ حصوں کی تیاری کا طریقہ

حصہ/1
CVD (کیمیائی بخارات جمع کرنے) کا طریقہ:
TaCl کا استعمال کرتے ہوئے، 900-2300℃ پر₅اور CnHm بطور ٹینٹلم اور کاربن ذرائع، H₂ ماحول کو کم کرنے کے طور پر، Ar₂as کیریئر گیس، ردعمل جمع کرنے والی فلم۔ تیار شدہ کوٹنگ کمپیکٹ، یکساں اور اعلی پاکیزگی کی ہے۔ تاہم، کچھ مسائل ہیں جیسے کہ پیچیدہ عمل، مہنگی لاگت، مشکل ہوا کے بہاؤ کو کنٹرول کرنا اور کم جمع کرنے کی کارکردگی۔
حصہ/2
سلری sintering طریقہ:
کاربن سورس، ٹینٹلم سورس، ڈسپرسینٹ اور بائنڈر پر مشتمل گارا گریفائٹ پر لیپت کیا جاتا ہے اور خشک ہونے کے بعد اعلی درجہ حرارت پر سینٹر کیا جاتا ہے۔ تیار شدہ کوٹنگ باقاعدہ واقفیت کے بغیر بڑھتی ہے، کم قیمت ہے اور بڑے پیمانے پر پیداوار کے لئے موزوں ہے. بڑے گریفائٹ پر یکساں اور مکمل کوٹنگ حاصل کرنے، سپورٹ کے نقائص کو ختم کرنے اور کوٹنگ بانڈنگ فورس کو بڑھانے کے لیے اس کی تلاش باقی ہے۔
حصہ/3
پلازما چھڑکنے کا طریقہ:
TaC پاؤڈر کو پلازما آرک کے ذریعے ہائی درجہ حرارت پر پگھلا دیا جاتا ہے، تیز رفتار جیٹ کے ذریعے اعلی درجہ حرارت کی بوندوں میں ایٹمائز کیا جاتا ہے، اور گریفائٹ مواد کی سطح پر اسپرے کیا جاتا ہے۔ غیر ویکیوم کے تحت آکسائڈ پرت بنانا آسان ہے، اور توانائی کی کھپت بڑی ہے.

 

پیکر GaN epitaxial grown MOCVD ڈیوائس (Veeco P75) میں استعمال کے بعد ویفر ٹرے۔ بائیں طرف والا ٹی اے سی کے ساتھ لیپت ہے اور دائیں طرف سی سی کے ساتھ لیپت ہے۔

ٹی اے سی لیپتگریفائٹ حصوں کو حل کرنے کی ضرورت ہے

حصہ/1
پابند قوت:
ٹی اے سی اور کاربن مواد کے درمیان تھرمل ایکسپینشن گتانک اور دیگر جسمانی خصوصیات مختلف ہیں، کوٹنگ بانڈنگ کی مضبوطی کم ہے، دراڑ، چھیدوں اور تھرمل تناؤ سے بچنا مشکل ہے، اور کوٹنگ کو اصل ماحول میں چھیلنا آسان ہے جس میں سڑ اور بار بار اٹھنے اور ٹھنڈا کرنے کا عمل۔
حصہ/2
طہارت:
ٹی اے سی کوٹنگاعلی درجہ حرارت کے حالات میں نجاست اور آلودگی سے بچنے کے لیے انتہائی اعلیٰ پاکیزگی کی ضرورت ہے، اور مکمل کوٹنگ کی سطح اور اندر کی سطح پر آزاد کاربن اور اندرونی نجاستوں کے موثر مواد کے معیارات اور خصوصیات کے معیارات سے اتفاق کرنے کی ضرورت ہے۔
حصہ/3
استحکام:
اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور 2300℃ سے اوپر کیمیائی ماحول کی مزاحمت کوٹنگ کے استحکام کو جانچنے کے لیے سب سے اہم اشارے ہیں۔ پن ہولز، دراڑیں، گمشدہ کونوں، اور سنگل اورینٹیشن گرین باؤنڈریز سے سنکنرن گیسوں کو گریفائٹ میں گھسنا اور گھسنا آسان ہے، جس کے نتیجے میں کوٹنگ پروٹیکشن ناکام ہو جاتا ہے۔
حصہ/4
آکسیکرن مزاحمت:
TaC جب 500 ℃ سے اوپر ہوتا ہے تو Ta2O5 میں آکسائڈائز ہونا شروع ہوتا ہے، اور درجہ حرارت اور آکسیجن کے ارتکاز میں اضافے کے ساتھ آکسیکرن کی شرح تیزی سے بڑھ جاتی ہے۔ سطح کا آکسیکرن اناج کی حدود اور چھوٹے دانوں سے شروع ہوتا ہے، اور آہستہ آہستہ کالمی کرسٹل اور ٹوٹے ہوئے کرسٹل بناتا ہے، جس کے نتیجے میں بڑی تعداد میں خلا اور سوراخ ہوتے ہیں، اور آکسیجن کی دراندازی اس وقت تک تیز ہوتی جاتی ہے جب تک کہ کوٹنگ چھن نہ جائے۔ نتیجے میں آکسائڈ کی تہہ میں خراب تھرمل چالکتا اور ظاہری شکل میں مختلف رنگ ہوتے ہیں۔
حصہ/5
یکسانیت اور کھردری:
کوٹنگ کی سطح کی غیر مساوی تقسیم مقامی تھرمل تناؤ کے ارتکاز کا باعث بن سکتی ہے، جس سے کریکنگ اور سپلنگ کا خطرہ بڑھ جاتا ہے۔ اس کے علاوہ، سطح کی کھردری کوٹنگ اور بیرونی ماحول کے درمیان تعامل کو براہ راست متاثر کرتی ہے، اور بہت زیادہ کھردری آسانی سے ویفر اور ناہموار تھرمل فیلڈ کے ساتھ رگڑ میں اضافہ کا باعث بنتی ہے۔
حصہ/6
اناج کا سائز:
یکساں اناج کا سائز کوٹنگ کے استحکام میں مدد کرتا ہے۔ اگر اناج کا سائز چھوٹا ہے تو، بانڈ تنگ نہیں ہے، اور یہ آکسائڈائزڈ اور خراب ہونا آسان ہے، جس کے نتیجے میں دانے کے کنارے میں بڑی تعداد میں دراڑیں اور سوراخ ہو جاتے ہیں، جو کوٹنگ کی حفاظتی کارکردگی کو کم کر دیتا ہے۔ اگر اناج کا سائز بہت بڑا ہے، تو یہ نسبتاً کھردرا ہے، اور کوٹنگ کو تھرمل دباؤ کے تحت پھٹنا آسان ہے۔