پلازما اینچنگ کے آلات میں فوکس رِنگز کے لیے مثالی مواد: سلیکن کاربائیڈ (SiC)

پلازما اینچنگ کے سامان میں، سیرامک ​​اجزاء ایک اہم کردار ادا کرتے ہیں، بشمولتوجہ کی انگوٹی.دی توجہ کی انگوٹیویفر کے ارد گرد رکھا جاتا ہے اور اس کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہوتا ہے، انگوٹی پر وولٹیج لگا کر پلازما کو ویفر پر مرکوز کرنے کے لیے ضروری ہے۔ یہ اینچنگ کے عمل کی یکسانیت کو بڑھاتا ہے۔

اینچنگ مشینوں میں SiC فوکس رِنگز کا اطلاق

SiC CVD اجزاءاینچنگ مشینوں میں، جیسےفوکس بجتی ہے, گیس شاور ہیڈز, platens، اور کنارے کے حلقے، کلورین اور فلورین پر مبنی اینچنگ گیسوں اور اس کی چالکتا کے ساتھ SiC کی کم رد عمل کی وجہ سے پسند کیے جاتے ہیں، جو اسے پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد بناتے ہیں۔

فوکس رنگ مواد کے طور پر SiC کے فوائد

ویکیوم ری ایکشن چیمبر میں پلازما کی براہ راست نمائش کی وجہ سے، پلازما مزاحم مواد سے فوکس رِنگز بنانے کی ضرورت ہے۔ سلیکون یا کوارٹز سے بنے روایتی فوکس رِنگ فلورین پر مبنی پلازما میں اینچنگ کی کمزور مزاحمت کا شکار ہوتے ہیں، جس کی وجہ سے تیزی سے سنکنرن اور کارکردگی میں کمی واقع ہوتی ہے۔

Si اور CVD SiC فوکس رِنگز کے درمیان موازنہ:

1. زیادہ کثافت:اینچنگ والیوم کو کم کرتا ہے۔

2. وسیع بینڈ گیپ: بہترین موصلیت فراہم کرتا ہے۔

    3. ہائی تھرمل چالکتا اور کم توسیعی گتانک: تھرمل جھٹکے کے خلاف مزاحم۔

    4. اعلی لچک:مکینیکل اثرات کے خلاف اچھی مزاحمت۔

    5. زیادہ سختی: پہننے اور سنکنرن مزاحم.

SiC سیلیکون کی برقی چالکتا کو شیئر کرتا ہے جبکہ آئنک اینچنگ کے خلاف اعلیٰ مزاحمت پیش کرتا ہے۔ جیسے جیسے انٹیگریٹڈ سرکٹ مائنیچرائزیشن کی ترقی ہوتی ہے، زیادہ موثر اینچنگ کے عمل کی مانگ بڑھ جاتی ہے۔ پلازما اینچنگ کا سامان، خاص طور پر جو کپیسیٹیو کپلڈ پلازما (سی سی پی) استعمال کرتے ہیں، ان کے لیے اعلی پلازما توانائی کی ضرورت ہوتی ہے،SiC فوکس بجتی ہے۔تیزی سے مقبول.

Si اور CVD SiC فوکس رنگ کے پیرامیٹرز:

پیرامیٹر	سلکان (Si)	CVD سلکان کاربائیڈ (SiC)
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm°C)	1.5	5
تھرمل ایکسپینشن گتانک (x10⁻⁶/°C)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی	زیریں	اعلی

 

SiC فوکس رِنگز کی تیاری کا عمل

سیمی کنڈکٹر آلات میں، سی وی ڈی (کیمیائی بخارات کا ذخیرہ) عام طور پر ایس سی کے اجزاء تیار کرنے کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ فوکس رِنگز ایس آئی سی کو بخارات کے ذریعے مخصوص شکلوں میں جمع کر کے تیار کیے جاتے ہیں، جس کے بعد حتمی پروڈکٹ بنانے کے لیے مکینیکل پروسیسنگ ہوتی ہے۔ بخارات کے جمع کرنے کے لیے مواد کا تناسب وسیع تجربے کے بعد طے کیا جاتا ہے، جس سے مزاحمتییت جیسے پیرامیٹرز کو مستقل بنایا جاتا ہے۔ تاہم، مختلف اینچنگ آلات کو مختلف مزاحمتی قوتوں کے ساتھ فوکس رِنگز کی ضرورت پڑسکتی ہے، ہر تصریح کے لیے مادی تناسب کے نئے تجربات کی ضرورت ہوتی ہے، جو وقت طلب اور مہنگا ہوتا ہے۔

منتخب کرکےSiC فوکس بجتی ہے۔سےسیمیسیرا سیمی کنڈکٹر، صارفین لاگت میں خاطر خواہ اضافے کے بغیر طویل متبادل سائیکل اور اعلی کارکردگی کے فوائد حاصل کر سکتے ہیں۔

ریپڈ تھرمل پروسیسنگ (RTP) اجزاء

CVD SiC کی غیر معمولی تھرمل خصوصیات اسے RTP ایپلی کیشنز کے لیے مثالی بناتی ہیں۔ RTP اجزاء، بشمول کنارے کے حلقے اور پلیٹین، CVD SiC سے فائدہ اٹھاتے ہیں۔ RTP کے دوران، شدید گرمی کی دالیں مختصر مدت کے لیے انفرادی ویفرز پر لگائی جاتی ہیں، جس کے بعد تیز ٹھنڈک ہوتی ہے۔ CVD SiC کنارے کے حلقے، پتلے ہونے اور کم تھرمل ماس ہونے کی وجہ سے، اہم گرمی کو برقرار نہیں رکھتے، جس کی وجہ سے وہ تیز حرارت اور ٹھنڈک کے عمل سے متاثر نہیں ہوتے۔

پلازما اینچنگ اجزاء

CVD SiC کی اعلی کیمیائی مزاحمت اسے اینچنگ ایپلی کیشنز کے لیے موزوں بناتی ہے۔ اینچنگ گیسوں کو تقسیم کرنے کے لیے بہت سے اینچنگ چیمبر CVD SiC گیس ڈسٹری بیوشن پلیٹوں کا استعمال کرتے ہیں، جن میں پلازما کے پھیلاؤ کے لیے ہزاروں چھوٹے سوراخ ہوتے ہیں۔ متبادل مواد کے مقابلے میں، CVD SiC کلورین اور فلورین گیسوں کے ساتھ کم رد عمل رکھتا ہے۔ خشک اینچنگ میں، CVD SiC اجزاء جیسے فوکس رِنگز، ICP پلیٹنز، باؤنڈری رِنگز، اور شاور ہیڈز عام طور پر استعمال ہوتے ہیں۔

SiC فوکس رِنگز، پلازما فوکس کرنے کے لیے ان کے لگائی گئی وولٹیج کے ساتھ، کافی چالکتا ہونا ضروری ہے۔ عام طور پر سلیکون سے بنے ہوئے، فوکس رِنگز فلورین اور کلورین پر مشتمل ری ایکٹیو گیسوں کے سامنے آتے ہیں، جو ناگزیر سنکنرن کا باعث بنتے ہیں۔ SiC فوکس رِنگز، اپنی اعلیٰ سنکنرن مزاحمت کے ساتھ، سلیکون رِنگز کے مقابلے میں لمبی عمر پیش کرتے ہیں۔

لائف سائیکل موازنہ:

· SiC فوکس رنگ:ہر 15 سے 20 دن میں تبدیل کیا جاتا ہے۔
· سلیکون فوکس رنگ:ہر 10 سے 12 دن میں تبدیل کیا جاتا ہے۔

SiC رِنگز سلیکون رِنگز کے مقابلے میں 2 سے 3 گنا زیادہ مہنگے ہونے کے باوجود، توسیعی تبدیلی کا سائیکل اجزاء کی تبدیلی کی مجموعی لاگت کو کم کرتا ہے، کیونکہ جب چیمبر کو فوکس رِنگ کی تبدیلی کے لیے کھولا جاتا ہے تو چیمبر میں پہننے والے تمام پرزے ایک ساتھ تبدیل کیے جاتے ہیں۔

سیمیسیرا سیمی کنڈکٹر کے SiC فوکس رِنگز

Semicera Semiconductor تقریباً 30 دنوں کے لیڈ ٹائم کے ساتھ، سلیکون رِنگز کے قریب قیمتوں پر SiC فوکس رِنگز پیش کرتا ہے۔ سیمیسیرا کے ایس آئی سی فوکس رِنگز کو پلازما اینچنگ کے آلات میں ضم کرنے سے، کارکردگی اور لمبی عمر میں نمایاں طور پر بہتری آتی ہے، جس سے دیکھ بھال کے مجموعی اخراجات کم ہوتے ہیں اور پیداوار کی کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے۔ مزید برآں، Semicera مخصوص کسٹمر کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے فوکس رِنگز کی مزاحمتی صلاحیت کو اپنی مرضی کے مطابق بنا سکتا ہے۔

Semicera Semiconductor سے SiC فوکس رِنگز کا انتخاب کر کے، گاہک لاگت میں خاطر خواہ اضافے کے بغیر طویل متبادل سائیکل اور اعلیٰ کارکردگی کے فوائد حاصل کر سکتے ہیں۔