CVD SiC کیا ہے؟
کیمیائی بخارات جمع (CVD) ایک ویکیوم جمع کرنے کا عمل ہے جو اعلی پاکیزہ ٹھوس مواد تیار کرنے کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ یہ عمل اکثر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ فیلڈ میں ویفرز کی سطح پر پتلی فلمیں بنانے کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ سی وی ڈی کے ذریعے ایس آئی سی کی تیاری کے عمل میں، سبسٹریٹ ایک یا زیادہ اتار چڑھاؤ والے پیشروؤں کے سامنے آتا ہے، جو مطلوبہ ایس آئی سی ڈپازٹ کو جمع کرنے کے لیے سبسٹریٹ کی سطح پر کیمیائی طور پر رد عمل ظاہر کرتے ہیں۔ SiC مواد کی تیاری کے بہت سے طریقوں میں سے، کیمیائی بخارات کے ذخیرہ سے تیار کردہ مصنوعات میں اعلی یکسانیت اور پاکیزگی ہوتی ہے، اور طریقہ کار میں مضبوط عمل کو کنٹرول کرنے کی صلاحیت ہے۔
CVD SiC میٹریل سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں استعمال کے لیے بہت موزوں ہیں جس کے لیے بہترین تھرمل، برقی اور کیمیائی خصوصیات کے منفرد امتزاج کی وجہ سے اعلیٰ کارکردگی والے مواد کی ضرورت ہوتی ہے۔ CVD SiC اجزاء اینچنگ کے سامان، MOCVD آلات، Si epitaxial آلات اور SiC epitaxial آلات، تیز تھرمل پروسیسنگ کے آلات اور دیگر شعبوں میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔
مجموعی طور پر، CVD SiC اجزاء کا سب سے بڑا بازار طبقہ سامان کے اجزاء کی نقاشی ہے۔ کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کے لیے اس کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، CVD سلکان کاربائیڈ اجزاء کے لیے ایک مثالی مواد ہے جیسے پلازما اینچنگ کے آلات میں فوکس رِنگ۔
اینچنگ آلات میں CVD سلکان کاربائیڈ کے اجزاء میں فوکس رِنگز، گیس شاور ہیڈز، ٹرے، ایج رِنگز وغیرہ شامل ہیں۔ فوکس رِنگ کو مثال کے طور پر لیتے ہوئے، فوکس رِنگ ایک اہم جزو ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور براہ راست ویفر کے ساتھ رابطے میں ہوتا ہے۔ انگوٹی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرنے کے لیے انگوٹی پر وولٹیج لگا کر، پلازما کو پروسیسنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لیے ویفر پر فوکس کیا جاتا ہے۔
روایتی فوکس رِنگ سلیکون یا کوارٹج سے بنی ہیں۔ انٹیگریٹڈ سرکٹ چھوٹے بنانے کی ترقی کے ساتھ، انٹیگریٹڈ سرکٹ مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی مانگ اور اہمیت بڑھ رہی ہے، اور ایچنگ پلازما کی طاقت اور توانائی میں مسلسل اضافہ ہوتا جا رہا ہے۔ خاص طور پر، capacitively coupled (CCP) پلازما اینچنگ آلات میں پلازما توانائی کی ضرورت زیادہ ہے، اس لیے سلیکون کاربائیڈ مواد سے بنے فوکس رِنگز کے استعمال کی شرح بڑھ رہی ہے۔ CVD سلکان کاربائیڈ فوکس رنگ کا اسکیمیٹک ڈایاگرام ذیل میں دکھایا گیا ہے:
پوسٹ ٹائم: جون-20-2024