ٹی اے سی لیپت گریفائٹ حصوں کی درخواست

حصہ/1

ایس آئی سی اور اے آئی این سنگل کرسٹل فرنس میں کروسیبل، سیڈ ہولڈر اور گائیڈ کی انگوٹھی PVT طریقہ سے اگائی گئی تھی۔

جیسا کہ شکل 2 [1] میں دکھایا گیا ہے، جب جسمانی بخارات کی نقل و حمل کا طریقہ (PVT) SiC کو تیار کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، تو بیج کا کرسٹل نسبتاً کم درجہ حرارت والے علاقے میں ہوتا ہے، SiC کا خام مال نسبتاً زیادہ درجہ حرارت والے علاقے میں ہوتا ہے (2400 سے اوپر℃)، اور خام مال سڑ کر SiXCy پیدا کرتا ہے (بنیادی طور پر Si، SiC سمیت₂، سی₂سی، وغیرہ)۔ بخارات کے مرحلے کا مواد اعلی درجہ حرارت والے علاقے سے کم درجہ حرارت والے علاقے میں بیج کرسٹل تک پہنچایا جاتا ہے۔, fبیجوں کے مرکزے کو تیار کرنا، اگانا، اور سنگل کرسٹل بنانا۔ اس عمل میں استعمال ہونے والے تھرمل فیلڈ میٹریل، جیسے کروسیبل، فلو گائیڈ رِنگ، سیڈ کرسٹل ہولڈر، کو زیادہ درجہ حرارت کے خلاف مزاحم ہونا چاہیے اور یہ SiC خام مال اور SiC سنگل کرسٹل کو آلودہ نہیں کرے گا۔ اسی طرح، AlN سنگل کرسٹل کی نشوونما میں حرارتی عناصر کو Al vapor، N کے خلاف مزاحم ہونے کی ضرورت ہے۔₂سنکنرن، اور اعلی eutectic درجہ حرارت کی ضرورت ہے (کے ساتھ AlN) کرسٹل کی تیاری کی مدت کو مختصر کرنا۔

یہ پایا گیا کہ SiC[2-5] اور AlN[2-3] نے تیار کیا۔ٹی اے سی لیپتگریفائٹ تھرمل فیلڈ مواد صاف ستھرا تھا، تقریباً کوئی کاربن (آکسیجن، نائٹروجن) اور دیگر نجاست نہیں تھی، کم کنارے کے نقائص، ہر علاقے میں چھوٹی مزاحمتی صلاحیت، اور مائکرو پور کثافت اور اینچنگ پٹ کثافت نمایاں طور پر کم ہو گئی تھی (KOH ایچنگ کے بعد)، اور کرسٹل کا معیار بہت بہتر کیا گیا تھا. اس کے علاوہ،ٹی اے سی کروسیبلوزن میں کمی کی شرح تقریبا صفر ہے، ظاہری شکل غیر تباہ کن ہے، ری سائیکل کیا جا سکتا ہے (200h تک زندگی)، اس طرح کے واحد کرسٹل کی تیاری کی استحکام اور کارکردگی کو بہتر بنا سکتا ہے.

انجیر۔ 2. (a) PVT طریقہ سے SiC سنگل کرسٹل انگوٹ اگانے والے آلے کا اسکیمیٹک خاکہ
(b) اوپرٹی اے سی لیپتبیج بریکٹ (بشمول SiC بیج)
(c)ٹی اے سی لیپت گریفائٹ گائیڈ کی انگوٹی

حصہ/2

MOCVD GaN epitaxial پرت بڑھتی ہوئی ہیٹر

جیسا کہ شکل 3 (a) میں دکھایا گیا ہے، MOCVD GaN گروتھ ایک کیمیائی بخارات جمع کرنے والی ٹیکنالوجی ہے جو وانپ اپیٹیکسیل نمو کے ذریعے پتلی فلموں کو اگانے کے لیے آرگنومیٹریکل سڑن کے رد عمل کا استعمال کرتی ہے۔ درجہ حرارت کی درستگی اور گہا میں یکسانیت ہیٹر کو MOCVD آلات کا سب سے اہم بنیادی جزو بناتی ہے۔ چاہے سبسٹریٹ کو لمبے عرصے تک جلدی اور یکساں طور پر گرم کیا جا سکتا ہے (بار بار ٹھنڈک کے تحت)، اعلی درجہ حرارت پر استحکام (گیس کے سنکنرن کے خلاف مزاحمت) اور فلم کی پاکیزگی براہ راست فلم کے جمع ہونے کے معیار، موٹائی کی مستقل مزاجی کو متاثر کرے گی۔ اور چپ کی کارکردگی۔

MOCVD GaN گروتھ سسٹم میں ہیٹر کی کارکردگی اور ری سائیکلنگ کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے لیے،ٹی اے سی لیپتگریفائٹ ہیٹر کامیابی سے متعارف کرایا گیا تھا۔ روایتی ہیٹر (pBN کوٹنگ کا استعمال کرتے ہوئے) کے ذریعے اگائی جانے والی GaN epitaxial تہہ کے مقابلے، TaC ہیٹر کے ذریعے اگائی گئی GaN epitaxial تہہ تقریباً ایک جیسی کرسٹل ساخت، موٹائی کی یکسانیت، اندرونی نقائص، ناپاک ڈوپنگ اور آلودگی رکھتی ہے۔ اس کے علاوہ، دیٹی اے سی کوٹنگاس میں کم مزاحمتی اور کم سطح کا اخراج ہے، جو ہیٹر کی کارکردگی اور یکسانیت کو بہتر بنا سکتا ہے، اس طرح بجلی کی کھپت اور گرمی کے نقصان کو کم کر سکتا ہے۔ ہیٹر کی تابکاری کی خصوصیات کو مزید بہتر بنانے اور اس کی سروس لائف کو بڑھانے کے لیے کوٹنگ کی پورسٹی کو عمل کے پیرامیٹرز کو کنٹرول کرکے ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے [5]۔ یہ فوائد بناتے ہیں۔ٹی اے سی لیپتگریفائٹ ہیٹر MOCVD GaN گروتھ سسٹمز کے لیے ایک بہترین انتخاب ہے۔

انجیر۔ 3. (a) GaN epitaxial گروتھ کے لیے MOCVD ڈیوائس کا اسکیمیٹک ڈایاگرام
(b) MOCVD سیٹ اپ میں نصب مولڈڈ TAC-کوٹڈ گریفائٹ ہیٹر، بیس اور بریکٹ کو چھوڑ کر (ہیٹنگ میں بیس اور بریکٹ کو ظاہر کرنے والی مثال)
(c) 17 GaN ایپیٹیکسیل نمو کے بعد TAC لیپت گریفائٹ ہیٹر۔ [6]

حصہ/3

ایپیٹیکسی کے لیے لیپت سسپٹر (وفر کیریئر)

ویفر کیریئر SiC، AlN، GaN اور دوسرے تیسرے درجے کے سیمی کنڈکٹر ویفرز اور ایپیٹیکسیل ویفر کی نشوونما کے لیے ایک اہم ساختی جزو ہے۔ زیادہ تر ویفر کیریئر گریفائٹ سے بنے ہوتے ہیں اور پروسیس گیسوں سے سنکنرن کے خلاف مزاحمت کے لیے SiC کوٹنگ کے ساتھ لیپت ہوتے ہیں، جس کا درجہ حرارت 1100 سے 1600 تک ہوتا ہے۔°C، اور حفاظتی کوٹنگ کی سنکنرن مزاحمت ویفر کیریئر کی زندگی میں ایک اہم کردار ادا کرتی ہے۔ نتائج سے پتہ چلتا ہے کہ TaC کی سنکنرن کی شرح اعلی درجہ حرارت امونیا میں SiC سے 6 گنا کم ہے۔ ہائی درجہ حرارت ہائیڈروجن میں، سنکنرن کی شرح SiC سے بھی 10 گنا زیادہ سست ہے۔

تجربات سے یہ ثابت ہوا ہے کہ TaC سے ڈھکی ہوئی ٹرے نیلی روشنی کے GaN MOCVD کے عمل میں اچھی مطابقت دکھاتی ہیں اور نجاست کو متعارف نہیں کرواتی ہیں۔ محدود عمل کی ایڈجسٹمنٹ کے بعد، TaC کیریئرز کا استعمال کرتے ہوئے اگائی جانے والی ایل ای ڈیز روایتی SiC کیریئرز جیسی کارکردگی اور یکسانیت کو ظاہر کرتی ہیں۔ لہذا، TAC لیپت pallets کی سروس کی زندگی ننگی پتھر کی سیاہی سے بہتر ہے اورSiC لیپتگریفائٹ pallets.