SEMICERA isostatic PECVD گریفائٹ بوٹ ایک اعلی پاکیزگی، اعلی کثافت والی گریفائٹ پروڈکٹ ہے جسے PECVD (پلازما میں اضافہ شدہ کیمیائی بخارات جمع کرنے) کے عمل میں ویفر سپورٹ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ SEMICERA اس بات کو یقینی بنانے کے لیے جدید آئسوسٹیٹک پریسنگ ٹیکنالوجی کا استعمال کرتا ہے کہ گریفائٹ بوٹ میں بہترین اعلی درجہ حرارت مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، جہتی استحکام اور اچھی تھرمل چالکتا ہے، جو کہ سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے عمل میں ایک ناگزیر قابل استعمال ہے۔
SEMICERA isostatic PECVD گریفائٹ بوٹ کے درج ذیل فوائد ہیں:
▪ اعلیٰ طہارت: گریفائٹ مواد زیادہ پاکیزگی اور کم ناپاک مواد کا ہوتا ہے تاکہ ویفر کی سطح کو آلودگی سے بچایا جا سکے۔
▪ اعلی کثافت: اعلی کثافت، اعلی مکینیکل طاقت، اعلی درجہ حرارت اور اعلی ویکیوم ماحول کو برداشت کر سکتی ہے۔
▪ اچھا جہتی استحکام: عمل کے استحکام کو یقینی بنانے کے لیے اعلی درجہ حرارت پر چھوٹی جہتی تبدیلی۔
▪ بہترین تھرمل چالکتا: ویفر کو زیادہ گرم ہونے سے روکنے کے لیے حرارت کو مؤثر طریقے سے منتقل کریں۔
▪ مضبوط سنکنرن مزاحمت: مختلف سنکنرن گیسوں اور پلازما کے ذریعے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کرنے کے قابل۔
کارکردگی کا پیرامیٹر | سیمیسیرا | SGL R6510 | کارکردگی کا پیرامیٹر |
بلک کثافت (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
موڑنے کی طاقت (MPa) | 63 | 60 | 49 |
کمپریسیو طاقت (MPa) | 135 | 130 | 103 |
ساحل کی سختی (HS) | 70 | 64 | 60 |
تھرمل توسیع کا گتانک (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
تھرمل توسیع کا گتانک (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
مزاحمتی صلاحیت (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
ہمیں منتخب کرنے کے فوائد:
▪ مواد کا انتخاب: مصنوعات کے معیار کو یقینی بنانے کے لیے اعلیٰ پاکیزگی والے گریفائٹ مواد استعمال کیے جاتے ہیں۔
▪ پروسیسنگ ٹیکنالوجی: پروڈکٹ کی کثافت اور یکسانیت کو یقینی بنانے کے لیے آئسوسٹیٹک پریسنگ کا استعمال کیا جاتا ہے۔
▪ سائز حسب ضرورت: مختلف سائز اور اشکال کی گریفائٹ بوٹس کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔
▪ سطح کا علاج: مختلف عمل کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے سطح کے علاج کے مختلف طریقے فراہم کیے جاتے ہیں، جیسے کوٹنگ سلکان کاربائیڈ، بوران نائٹرائڈ، وغیرہ۔