ٹھوس CVD سلکان کاربائیڈ حصوں کو RTP/EPI رِنگز اور بیسز کے لیے بنیادی انتخاب کے طور پر تسلیم کیا جاتا ہے اور پلازم ایچ کیویٹی پارٹس جو اعلی سسٹم کے مطلوبہ آپریٹنگ درجہ حرارت (>1500℃) پر کام کرتے ہیں، طہارت کے تقاضے خاص طور پر زیادہ ہیں (>99.9995%) اور کارکردگی خاص طور پر اچھی ہوتی ہے جب کیمیکلز کے خلاف مزاحمت خاص طور پر زیادہ ہو۔ یہ مواد اناج کے کنارے پر ثانوی مراحل پر مشتمل نہیں ہے، لہذا ان کے اجزاء دوسرے مواد کے مقابلے میں کم ذرات پیدا کرتے ہیں. اس کے علاوہ، ان اجزاء کو گرم HF/HCl کا استعمال کرتے ہوئے تھوڑا سا انحطاط کے ساتھ صاف کیا جا سکتا ہے، جس کے نتیجے میں ذرات کم ہوتے ہیں اور طویل سروس کی زندگی ہوتی ہے۔
