اعلی طہارت کا SiC کیریئر/سسپٹر

مختصر تفصیل:

سلیکن کاربائیڈ بیئرنگ ڈسک کو ایس آئی سی ٹرے، سلکان کاربائیڈ ایچنگ ڈسک، آئی سی پی ایچنگ ڈسک کے نام سے بھی جانا جاتا ہے۔ ایل ای ڈی ایچنگ (SiC ٹرے) کے لیے سلکان کاربائیڈ ٹرے φ600mm گہری سلکان اینچنگ (ICP اینچنگ مشین) کے لیے ایک خصوصی آلات ہے۔


پروڈکٹ کی تفصیل

پروڈکٹ ٹیگز

تفصیل

سلیکون کاربائیڈ سیرامکس کمرے کے درجہ حرارت پر بہترین مکینیکل خصوصیات رکھتے ہیں، جیسے کہ اعلی طاقت، زیادہ سختی، اعلی لچکدار ماڈیولس، وغیرہ، اس میں بہترین اعلی درجہ حرارت کا استحکام بھی ہوتا ہے جیسے اعلی تھرمل چالکتا، کم تھرمل ایکسپینشن گتانک، اور اچھی مخصوص سختی اور آپٹیکل۔ پروسیسنگ کی کارکردگی.
وہ خاص طور پر انٹیگریٹڈ سرکٹ آلات جیسے لتھوگرافی مشینوں کے لیے درست سیرامک ​​پارٹس تیار کرنے کے لیے موزوں ہیں، جو بنیادی طور پر SiC کیریئر/سسپٹر، SiC ویفر بوٹ، چوسنے والی ڈسک، واٹر کولنگ پلیٹ، درست پیمائش کرنے والے ریفلیکٹر، گرٹنگ اور دیگر سیرامک ​​ساختی حصوں کی تیاری کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔

کیریئر2

کیریئر3

کیریئر4

فوائد

اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت: 1800 ℃ پر عام استعمال
اعلی تھرمل چالکتا: گریفائٹ مواد کے برابر
زیادہ سختی: ہیرے، بوران نائٹرائڈ کے بعد سختی دوسرے نمبر پر ہے۔
سنکنرن مزاحمت: مضبوط تیزاب اور الکالی میں کوئی سنکنرن نہیں ہے، سنکنرن مزاحمت ٹنگسٹن کاربائیڈ اور ایلومینا سے بہتر ہے
ہلکا وزن: کم کثافت، ایلومینیم کے قریب
کوئی اخترتی نہیں: تھرمل توسیع کا کم گتانک
تھرمل جھٹکا مزاحمت: یہ تیز درجہ حرارت کی تبدیلیوں کو برداشت کر سکتا ہے، تھرمل جھٹکے کا مقابلہ کر سکتا ہے، اور مستحکم کارکردگی ہے
سلیکون کاربائیڈ کیریئر جیسے کہ sic ایچنگ کیریئر، ICP ایچنگ سسیپٹر، سیمی کنڈکٹر CVD، ویکیوم سپٹرنگ وغیرہ میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتے ہیں۔ ہم صارفین کو مختلف ایپلی کیشنز کو پورا کرنے کے لیے سلکان اور سلکان کاربائیڈ مواد کے حسب ضرورت ویفر کیریئر فراہم کر سکتے ہیں۔

فوائد

جائیداد قدر طریقہ
کثافت 3.21 گرام/cc سنک فلوٹ اور طول و عرض
مخصوص حرارت 0.66 J/g °K پلس لیزر فلیش
لچکدار طاقت 450 MPa560 MPa 4 پوائنٹ موڑ، RT4 پوائنٹ موڑ، 1300°
فریکچر کی سختی 2.94 ایم پی اے ایم 1/2 مائیکرو انڈینٹیشن
سختی 2800 ویکرز، 500 گرام لوڈ
لچکدار ماڈیولس ینگ کا ماڈیولس 450 GPa430 GPa 4 pt موڑ، RT4 pt موڑ، 1300 °C
اناج کا سائز 2 - 10 µm SEM

کمپنی کا پروفائل

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. جدید سیمی کنڈکٹر سیرامکس کا ایک سرکردہ فراہم کنندہ اور چین میں واحد مینوفیکچرر ہے جو بیک وقت اعلیٰ طہارت والے سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​(خاص طور پر دوبارہ تشکیل شدہ SiC) اور CVD SiC کوٹنگ فراہم کر سکتا ہے۔ اس کے علاوہ، ہماری کمپنی سیرامک ​​فیلڈز جیسے ایلومینا، ایلومینیم نائٹرائڈ، زرکونیا، اور سلکان نائٹرائڈ وغیرہ کے لیے بھی پرعزم ہے۔

ہماری اہم مصنوعات بشمول: سلکان کاربائیڈ اینچنگ ڈسک، سلکان کاربائیڈ بوٹ ٹو، سلکان کاربائیڈ ویفر بوٹ (فوٹو وولٹک اینڈ سیمی کنڈکٹر)، سلکان کاربائیڈ فرنس ٹیوب، سلکان کاربائیڈ کینٹیلیور پیڈل، سلکان کاربائیڈ چکس، سلیکون کاربائیڈ، سی سی سی کے طور پر سی ڈی سی اور ٹاسک کے طور پر۔ کوٹنگ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر اور فوٹو وولٹک صنعتوں میں استعمال ہونے والی مصنوعات، جیسے کرسٹل گروتھ، ایپیٹیکسی، اینچنگ، پیکیجنگ، کوٹنگ اور ڈفیوژن فرنس وغیرہ کے لیے آلات۔
کے بارے میں (2)

ٹرانسپورٹ

کے بارے میں (2)


  • پچھلا:
  • اگلا: