سلیکن کاربائیڈ کوٹنگ کا تعارف
ہماری کیمیائی بخارات جمع (CVD) سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ ایک انتہائی پائیدار اور لباس مزاحم پرت ہے، جو اعلی سنکنرن اور تھرمل مزاحمت کا مطالبہ کرنے والے ماحول کے لیے مثالی ہے۔سلیکن کاربائیڈ کوٹنگCVD کے عمل کے ذریعے مختلف ذیلی جگہوں پر پتلی تہوں میں لاگو کیا جاتا ہے، اعلی کارکردگی کی خصوصیات پیش کرتا ہے۔
کلیدی خصوصیات
●-غیر معمولی پاکیزگیکی ایک انتہائی خالص ساخت پر فخر کرنا99.99995%، ہماریایس سی کوٹنگحساس سیمی کنڈکٹر آپریشنز میں آلودگی کے خطرات کو کم کرتا ہے۔
●-اعلیٰ مزاحمت: پہننے اور سنکنرن دونوں کے خلاف بہترین مزاحمت کی نمائش کرتا ہے، اسے کیمیکل اور پلازما کی ترتیبات کو چیلنج کرنے کے لیے بہترین بناتا ہے۔
●-ہائی تھرمل چالکتا: اپنی شاندار تھرمل خصوصیات کی وجہ سے انتہائی درجہ حرارت میں قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔
●-جہتی استحکام: درجہ حرارت کی ایک وسیع رینج میں ساختی سالمیت کو برقرار رکھتا ہے، اس کے کم تھرمل ایکسپینشن گتانک کی بدولت۔
●-بہتر سختیکی سختی کی درجہ بندی کے ساتھ40 جی پی اے، ہماری SiC کوٹنگ نمایاں اثر اور رگڑ کو برداشت کرتی ہے۔
● - ہموار سطح ختم: آئینہ کی طرح ختم فراہم کرتا ہے، ذرہ کی پیداوار کو کم کرتا ہے اور آپریشنل کارکردگی کو بڑھاتا ہے۔
ایپلی کیشنز
سیمیسیرا ایس سی کوٹنگزسیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے مختلف مراحل میں استعمال کیا جاتا ہے، بشمول:
● -ایل ای ڈی چپ فیبریکیشن
● -پولی سیلیکون کی پیداوار
● -سیمی کنڈکٹر کرسٹل گروتھ
● -سلیکون اور ایس آئی سی ایپیٹیکسی
● -تھرمل آکسیکرن اور بازی (TO&D)
ہم اعلی طاقت والے آئسوسٹیٹک گریفائٹ، کاربن فائبر سے تقویت یافتہ کاربن اور 4N دوبارہ تیار کردہ سلکان کاربائیڈ سے تیار کردہ SiC کوٹڈ اجزاء فراہم کرتے ہیں، جو فلوائزڈ بیڈ ری ایکٹرز کے لیے تیار کیے گئے ہیں،STC-TCS کنورٹرز، CZ یونٹ ریفلیکٹرز، SiC ویفر بوٹ، SiCwafer پیڈل، SiC ویفر ٹیوب، اور PECVD، سلکان ایپیٹیکسی، MOCVD عمل میں استعمال ہونے والے ویفر کیریئرز.
فوائد
●-توسیع شدہ عمر: مجموعی طور پر پیداوار کی کارکردگی میں اضافہ کرتے ہوئے، سامان کے ڈاؤن ٹائم اور دیکھ بھال کے اخراجات کو نمایاں طور پر کم کرتا ہے۔
● -بہتر معیار: سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے لیے ضروری اعلی پاکیزگی کی سطحوں کو حاصل کرتا ہے، اس طرح مصنوعات کے معیار کو بڑھاتا ہے۔
● - کارکردگی میں اضافہ: تھرمل اور سی وی ڈی کے عمل کو بہتر بناتا ہے، جس کے نتیجے میں سائیکل کا کم وقت اور زیادہ پیداوار ہوتی ہے۔
تکنیکی وضاحتیں
●-ساخت: ایف سی سی β فیز پولی کرسٹلائن، بنیادی طور پر (111) پر مبنی
●-کثافت: 3.21 g/cm³
●-سختی: 2500 وِکس سختی (500 گرام بوجھ)
● - فریکچر سختی: 3.0 ایم پی اے ایم1/2
●-حرارتی توسیع کا گتانک (100–600 °C): 4.3 x 10-6k-1
● -لچکدار ماڈیولس(1300℃):435 جی پی اے
●-عام فلم کی موٹائی:100 µm
● -سطح کی کھردری:2-10 µm
پیوریٹی ڈیٹا (گلو ڈسچارج ماس سپیکٹروسکوپی سے ماپا گیا)
| عنصر | پی پی ایم | عنصر | پی پی ایم |
| Li | <0.001 | Cu | <0.01 |
| Be | <0.001 | Zn | <0.05 |
| ال | <0.04 | Ga | <0.01 |
| P | <0.01 | Ge | <0.05 |
| S | <0.04 | As | <0.005 |
| K | <0.05 | In | <0.01 |
| Ca | <0.05 | Sn | <0.01 |
| Ti | <0.005 | Sb | <0.01 |
| V | <0.001 | W | <0.05 |
| Cr | <0.05 | Te | <0.01 |
| Mn | <0.005 | Pb | <0.01 |
| Fe | <0.05 | Bi | <0.05 |
| Ni | <0.01 |
|
