سیمیسیرا کا10x10 ملی میٹر نان پولر ایم پلین ایلومینیم سبسٹریٹاعلی درجے کی آپٹو الیکٹرانک ایپلی کیشنز کی درست ضروریات کو پورا کرنے کے لیے احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس سبسٹریٹ میں ایک غیر قطبی M-plan کی واقفیت ہے، جو ایل ای ڈی اور لیزر ڈائیوڈس جیسے آلات میں پولرائزیشن اثرات کو کم کرنے کے لیے اہم ہے، جس سے کارکردگی اور کارکردگی میں اضافہ ہوتا ہے۔
دی10x10 ملی میٹر نان پولر ایم پلین ایلومینیم سبسٹریٹغیر معمولی کرسٹل معیار کے ساتھ تیار کیا گیا ہے، کم سے کم خرابی کی کثافت اور اعلی ساختی سالمیت کو یقینی بناتا ہے۔ یہ اسے اعلیٰ معیار کی III-nitride فلموں کی افزائشی نمو کے لیے ایک مثالی انتخاب بناتا ہے، جو اگلی نسل کے آپٹو الیکٹرانک آلات کی ترقی کے لیے ضروری ہیں۔
Semicera کی صحت سے متعلق انجینئرنگ اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ ہر ایک10x10 ملی میٹر نان پولر ایم پلین ایلومینیم سبسٹریٹیکساں موٹائی اور سطح کی ہمواری پیش کرتا ہے، جو یکساں فلم جمع کرنے اور ڈیوائس بنانے کے لیے اہم ہیں۔ مزید برآں، سبسٹریٹ کا کمپیکٹ سائز اسے تحقیق اور پیداواری ماحول دونوں کے لیے موزوں بناتا ہے، جس سے مختلف قسم کے ایپلی کیشنز میں لچکدار استعمال کی اجازت ملتی ہے۔ اپنے بہترین تھرمل اور کیمیائی استحکام کے ساتھ، یہ سبسٹریٹ جدید آپٹو الیکٹرانک ٹیکنالوجیز کی ترقی کے لیے ایک قابل اعتماد بنیاد فراہم کرتا ہے۔
| اشیاء | پیداوار | تحقیق | ڈمی |
| کرسٹل پیرامیٹرز | |||
| پولی ٹائپ | 4H | ||
| سطح کی سمت بندی کی خرابی۔ | <11-20 >4±0.15° | ||
| الیکٹریکل پیرامیٹرز | |||
| ڈوپینٹ | این ٹائپ نائٹروجن | ||
| مزاحمتی صلاحیت | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| مکینیکل پیرامیٹرز | |||
| قطر | 150.0±0.2 ملی میٹر | ||
| موٹائی | 350±25 μm | ||
| بنیادی فلیٹ واقفیت | [1-100]±5° | ||
| بنیادی فلیٹ لمبائی | 47.5±1.5 ملی میٹر | ||
| سیکنڈری فلیٹ | کوئی نہیں۔ | ||
| ٹی ٹی وی | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| رکوع | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| وارپ | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| سامنے کا (سی-چہرہ) کھردرا پن (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساخت | |||
| مائکرو پائپ کی کثافت | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| دھاتی نجاست | ≤5E10 ایٹم/cm2 | NA | |
| بی پی ڈی | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| ٹی ایس ڈی | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| سامنے کا معیار | |||
| سامنے والا | Si | ||
| سطح ختم | سی-فیس سی ایم پی | ||
| ذرات | ≤60ea/wafer (سائز≥0.3μm) | NA | |
| خروںچ | ≤5ea/mm مجموعی لمبائی ≤ قطر | مجموعی لمبائی≤2*قطر | NA |
| نارنجی کا چھلکا/ گڑھے/ داغ/ دھبے/ دراڑیں/ آلودگی | کوئی نہیں۔ | NA | |
| ایج چپس/انڈینٹ/فریکچر/ہیکس پلیٹس | کوئی نہیں۔ | ||
| پولی ٹائپ ایریاز | کوئی نہیں۔ | مجموعی رقبہ≤20% | مجموعی رقبہ≤30% |
| فرنٹ لیزر مارکنگ | کوئی نہیں۔ | ||
| واپس معیار | |||
| واپس ختم | C-چہرہ CMP | ||
| خروںچ | ≤5ea/mm، مجموعی لمبائی≤2*قطر | NA | |
| پچھلے نقائص (ایج چپس/انڈینٹ) | کوئی نہیں۔ | ||
| پیچھے کا کھردرا پن | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| بیک لیزر مارکنگ | 1 ملی میٹر (اوپر کے کنارے سے) | ||
| کنارہ | |||
| کنارہ | چمفر | ||
| پیکجنگ | |||
| پیکجنگ | ویکیوم پیکیجنگ کے ساتھ ایپی تیار ملٹی ویفر کیسٹ پیکیجنگ | ||
| *نوٹ: "NA" کا مطلب ہے کوئی درخواست نہیں دی گئی اشیا جن کا ذکر نہیں کیا گیا ہے وہ SEMI-STD کا حوالہ دے سکتے ہیں۔ | |||
